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講演名 2017-12-01 12:30
リモートO2プラズマ支援CVD SiO2/GaN(0001)の化学結合状態及び電気特性評価
グェンスァン チュン名大)・田岡紀之産総研)・大田晃生名大)・山田 永高橋言緒産総研)・池田弥央牧原克典名大)・清水三聡産総研)・宮崎誠一名大
PDFダウンロードリンク ED2017-61 CPM2017-104 LQE2017-74 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2017-61 CPM2017-104 LQE2017-74
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