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講演名 2015-04-30 11:05
非晶質Ge薄膜のAu誘起成長に及ぼすTEOS-SiO2キャップ層の影響
工藤和樹草野欽太酒井崇嗣熊本高専)・本山慎一楠田 豊古田真浩サムコ)・中 庸行沼田朋子堀場製作所)・高倉健一郎角田 功熊本高専
PDFダウンロードリンク SDM2015-11 OME2015-11 エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2015-11 OME2015-11
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