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講演名
2005-08-19 11:35
poly-Si電極における仕事関数変調とそのデバイスインパクト ~ SiON/poly-Si界面の微量Hfの効果 ~
○
由上二郎
(
ルネサステクノロジ
)・
嶋本泰洋
(
日立
)・
井上真雄
・
水谷斉治
・
林 岳
・
志賀克哉
・
藤田文子
・
土本淳一
・
大野吉和
・
米田昌弘
(
ルネサステクノロジ
)
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