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講演名
2010-11-11 13:00
SiCを基板に用いた減圧HVPE法によるAlN成長
○
奥村建太
・
野村拓也
・
三宅秀人
・
平松和政
(
三重大
)・
江龍 修
(
名工大
)
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ED2010-146 CPM2010-112 LQE2010-102
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