お知らせ
2023年度・2024年度 学生員 会費割引キャンペーン実施中です
お知らせ
技術研究報告と和文論文誌Cの同時投稿施策(掲載料1割引き)について
お知らせ
電子情報通信学会における研究会開催について
お知らせ NEW
参加費の返金について
電子情報通信学会 研究会発表申込システム
ダウンロードリンク
技報閲覧サービス
[ログイン]
技報アーカイブ
トップに戻る
前のページに戻る
[Japanese]
/
[English]
PDFダウンロードリンク
講演名
2008-07-18 15:05
極微細TaCx/HfSiONデバイスの性能および歪み効果に対するTaCx組成の影響
○
後藤正和
・
辰村光介
・
川中 繁
・
中嶋一明
・
市原玲華
・
吉水康人
・
小野田裕之
・
長友浩二
・
佐々木俊行
・
福島 崇
・
野町映子
・
犬宮誠治
・
青山知憲
・
小山正人
・
豊島義明
(
東芝
)
PDFダウンロードリンク
SDM2008-147 ICD2008-57
エレソ技報アーカイブへのリンク:
SDM2008-147
ICD2008-57
著作権について
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
[研究会発表申込システムのトップページに戻る]
[電子情報通信学会ホームページ]
IEICE / 電子情報通信学会