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講演名
2007-10-04 15:15
先端DRAMでのSiONゲート絶縁膜における窒素プロファイルと素子特性について
○
村川惠美
(
東京エレクトロン/東北大
)・
竹内政志
・
本田 稔
・
石塚修一
・
中西敏雄
・
廣田良浩
(
東京エレクトロンAT
)・
菅原卓也
・
田中義嗣
・
赤坂泰志
(
東京エレクトロン
)・
寺本章伸
・
須川成利
・
大見忠弘
(
東北大
)
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SDM2007-175
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