基礎・境界/NOLTA-VLSI設計技術(開催日：1996/09/26)

タイトル/著者/発表日/資料番号
表紙

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[発表日]1996/9/26
[資料番号]
目次

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[発表日]1996/9/26
[資料番号]
表面拡散モデルを含むアルミスパッタ形状シミュレーションシステムの開発

山田 裕明,  金子 浩勝,  山田 義明,  太田 敏行,  

[発表日]1996/9/26
[資料番号]VLD96-34,ED96-80,SDM96-90
統一モデルによるSi中のB、P、As拡散のシミュレーション

植松 真司,  

[発表日]1996/9/26
[資料番号]VLD96-35,ED96-81,SDM96-91
不活性化による格子間シリコンの放出を考慮したヒ素のペア拡散モデル

廣井 政幸,  池沢 健夫,  羽根 正巳,  松本 比呂志,  

[発表日]1996/9/26
[資料番号]VLD96-36,ED96-82,SDM96-92
遺伝的アルゴリズムのボロンイオン注入分布パラメータ抽出への応用

須戸 律雄,  小島 修一,  鈴木 腕,  佐藤 眞木彦,  鈴本 邦広,  

[発表日]1996/9/26
[資料番号]VLD96-37,ED96-83,SDM96-93
境界保護層付きメッシュを用いた拡散シミュレーションの高精度化

庄 俊之,  秋山 豊,  熊代 成孝,  横田 郁宏,  麻多 進,  

[発表日]1996/9/26
[資料番号]VLD96-38,ED96-84,SDM96-94
陽解法を用いたデバイスシミュレーション : 大規模問題への応用

倉田 衛,  中村 慎,  

[発表日]1996/9/26
[資料番号]VLD96-39,ED96-85,SDM96-95
Control Volume法における3D格子点配置に関する考察

田中 克彦,  野津 明男,  松本 比呂志,  

[発表日]1996/9/26
[資料番号]VLD96-40,ED96-86,SDM96-96
[OTHERS]

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[発表日]1996/9/26
[資料番号]