エレクトロニクス-シリコン材料・デバイス(開催日:2018/10/17)

タイトル/著者/発表日/資料番号
[招待講演]低抵抗アモルファス相と高抵抗結晶相を有するCr2Ge2Te6を用いた相変化メモリ

畑山 祥吾(東北大),  須藤 祐司(東北大),  安藤 大輔(東北大),  小池 淳一(東北大),  

[発表日]2018-10-17
[資料番号]SDM2018-56
スパッタリングプロセスを用いた新しい圧電材料とセンサへの応用

今泉 文伸(小山高専),  柳田 幸祐(*),  

[発表日]2018-10-17
[資料番号]SDM2018-53
[招待講演]次世代車載マイコン対応Fin-FET MONOS

津田 是文(ルネサス エレクトロニクス),  斉藤 朋也(ルネサス エレクトロニクス),  長瀬 寛和(ルネサス エレクトロニクス),  川嶋 祥之(ルネサス エレクトロニクス),  吉冨 敦司(ルネサス エレクトロニクス),  岡西 忍(ルネサス エレクトロニクス),  林 倫弘(ルネサス エレクトロニクス),  丸山 卓也(ルネサス エレクトロニクス),  井上 真雄(ルネサス エレクトロニクス),  村中 誠志(ルネサス エレクトロニクス),  加藤 茂樹(ルネサス エレクトロニクス),  萩原 琢也(ルネサス エレクトロニクス),  齊藤 博和(ルネサス エレクトロニクス),  山口 直(ルネサス エレクトロニクス),  門島 勝(ルネサス エレクトロニクス),  丸山 隆弘(ルネサス エレクトロニクス),  三原 竜善(ルネサス エレクトロニクス),  柳田 博史(ルネサス エレクトロニクス),  園田 賢一郎(ルネサス エレクトロニクス),  山口 泰男(ルネサス エレクトロニクス),  山下 朋弘(ルネサス エレクトロニクス),  

[発表日]2018-10-17
[資料番号]SDM2018-52
Si(100)表面原子レベル平坦化プロセスを用いたHf系MONOS型不揮発性メモリ作製プロセスに関する検討

工藤 聡也(東工大),  堀内 勇介(東工大),  大見 俊一郎(東工大),  

[発表日]2018-10-17
[資料番号]SDM2018-55
Low-Temperature Formation of Ohmic Contact for Si TFT Fabrication by Excimer Laser Doping with Phosphoric Acid Coating

妹川 要(九大),  田中 希(九大),  諏訪 輝(九大),  中村 大輔(九大),  佐道 泰造(九大),  後藤 哲也(東北大),  池上 浩(九大),  

[発表日]2018-10-17
[資料番号]SDM2018-54
[招待講演]熊本地域でのシリコンアイランドの推進と地震からの復興

久保田 弘(熊本大),  

[発表日]2018-10-18
[資料番号]SDM2018-63
[招待講演]ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング熊本テクノロジーセンターでの熊本震災からの教訓

鈴木 裕巳(熊本大),  上田 康弘(ソニー),  

[発表日]2018-10-18
[資料番号]SDM2018-57
ラマン分光法による熱電デバイス応用へ向けたSiナノワイヤのプロセス評価

横川 凌(明大),  富田 基裕(早大),  渡邉 孝信(早大),  小椋 厚志(明大),  

[発表日]2018-10-18
[資料番号]SDM2018-61
ソースとドレインが非対称のMOSFETを用いた電気的特性ばらつきの統計的解析

市野 真也(東北大),  寺本 章伸(東北大),  黒田 理人(東北大),  間脇 武蔵(東北大),  諏訪 智之(東北大),  須川 成利(東北大),  

[発表日]2018-10-18
[資料番号]SDM2018-62
窒素添加LaB6界面制御層によるペンタセン/SiO2界面特性向上に関する検討

前田 康貴(東工大),  朴 鏡恩(東工大),  小松 勇貴(東工大),  大見 俊一郎(東工大),  

[発表日]2018-10-18
[資料番号]SDM2018-60
Thin film formation of ferroelectric undoped HfO2 on Si(100) by RF magnetron sputtering

Min Gee Kim(東工大),  Rengie Mark D. Mailig(東工大),  Shun-ichiro Ohmi(東工大),  

[発表日]2018-10-18
[資料番号]SDM2018-58
Schottky barrier height reduction of Pd2Si/Si(100) diodes by dopant segregation process

Rengie Mark D. Mailig(東工大),  Min Gee Kim(東工大),  Shun-ichiro Ohmi(東工大),  

[発表日]2018-10-18
[資料番号]SDM2018-59