エレクトロニクス-シリコン材料・デバイス(開催日:2008/01/17)

タイトル/著者/発表日/資料番号
表紙

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[発表日]2008/1/17
[資料番号]
目次

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[発表日]2008/1/17
[資料番号]
High-k MOSFETに固有な移動度劣化機構の提案(<特集>IEDM(先端CMOSデバイス・プロセス技術))

太田 裕之,  平野 晃人,  渡邉 幸宗,  安田 直樹,  岩本 邦彦,  秋山 浩二,  岡田 健治,  右田 真司,  生田目 俊秀,  鳥海 明,  

[発表日]2008/1/17
[資料番号]SDM2007-238
膜厚4nm以下の(110)面極薄SOIシングルゲート/ダブルゲートn/p MOSFETにおける一軸引っ張り歪みによる移動度向上(<特集>IEDM(先端CMOSデバイス・プロセス技術))

清水 健,  平本 俊郎,  

[発表日]2008/1/17
[資料番号]SDM2007-239
10nm以下の極薄膜ダブルゲートSOI p-FETにおける高移動度の実証 : 軽い正孔バンドの役割と一軸性応力エンジニアリングとの整合性(<特集>IEDM(先端CMOSデバイス・プロセス技術))

小林 茂樹,  齋藤 真澄,  内田 建,  

[発表日]2008/1/17
[資料番号]SDM2007-240
トランジスタ領域毎に最適化された複数歪技術を用いる45nm高性能・低リークバルクロジックプラットフォーム技術(<特集>IEDM(先端CMOSデバイス・プロセス技術))

宮下 俊彦,  池田 圭司,  金 永ソク,  山本 知成,  三本杉 安弘,  落水 洋聡,  迫田 恒久,  南方 浩志,  早見 由香,  大越 克明,  島宗 洋介,  福田 真大,  岡部 堅一,  久保 智裕,  田島 貢,  山本 智彦,  大和田 保,  森 年史,  助川 和雄,  筑根 敦弘,  池田 和人,  加勢 正隆,  杉井 寿博,  

[発表日]2008/1/17
[資料番号]SDM2007-241
不純物閉じ込め層(DCL)を有するサブ40nm高性能CMOS特性(<特集>IEDM(先端CMOSデバイス・プロセス技術))

大田 裕之,  田村 直義,  福留 秀暢,  田島 貢,  岡部 堅一,  畑田 明良,  池田 圭司,  大越 克明,  森 年史,  助川 和雄,  佐藤 成生,  杉井 寿博,  

[発表日]2008/1/17
[資料番号]SDM2007-242
ダマシンゲートプロセスを用いたtop-cutデュアルストレスライナーを有する高性能Metal/High-k Gate MOSFET(<特集>IEDM(先端CMOSデバイス・プロセス技術))

黛 哲,  王 俊利,  山川 真弥,  舘下 八州志,  平野 智之,  中田 征志,  山口 晋平,  山本 雄一,  宮波 勇樹,  押山 到,  田中 和樹,  田井 香織,  小川 浩二,  釘宮 克尚,  長濱 嘉彦,  萩本 賢哉,  山本 亮,  神田 さおり,  長野 香,  若林 整,  田川 幸雄,  塚本 雅則,  岩元 勇人,  斎藤 正樹,  門村 新吾,  長島 直樹,  

[発表日]2008/1/17
[資料番号]SDM2007-243
三次元NANDフラッシュメモリに最適な縦型アレイデバイス開発(<特集>IEDM(先端CMOSデバイス・プロセス技術))

福住 嘉晃,  勝又 竜太,  鬼頭 傑,  木藤 大,  佐藤 充,  田中 啓安,  永田 祐三,  松岡 泰之,  岩田 佳久,  青地 英明,  仁田山 晃寛,  

[発表日]2008/1/17
[資料番号]SDM2007-244
新規格化法を用いたファブ/テクノロジ/水準間比較によるランダムしきい値ばらつき評価(<特集>IEDM(先端CMOSデバイス・プロセス技術))

竹内 潔,  深井 利憲,  角村 貴昭,  プトラ アリフィン・タムシル,  西田 彰男,  蒲原 史朗,  平本 俊郎,  

[発表日]2008/1/17
[資料番号]SDM2007-245
インバータ速度制御、低Vthバラツキを可能にする薄膜BOX-SOIデュアル・バックバイアス制御技術(<特集>IEDM(先端CMOSデバイス・プロセス技術))

土屋 龍太,  石垣 隆士,  森田 祐介,  山岡 雅直,  岩松 俊明,  一法師 隆志,  尾田 秀一,  杉井 信之,  木村 紳一郎,  伊藤 清男,  井上 靖朗,  

[発表日]2008/1/17
[資料番号]SDM2007-246
32nmノード以降に向けたFinFET SRAMセルのDC特性ばらつき(<特集>IEDM(先端CMOSデバイス・プロセス技術))

稲葉 聡,  川崎 博久,  岡野 王俊,  泉田 貴士,  八木下 淳史,  金子 明生,  石丸 一成,  青木 伸俊,  豊島 義明,  

[発表日]2008/1/17
[資料番号]SDM2007-247
複写される方へ

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[発表日]2008/1/17
[資料番号]
Notice for Photocopying

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[発表日]2008/1/17
[資料番号]
奥付

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[発表日]2008/1/17
[資料番号]