エレクトロニクス-シリコン材料・デバイス(開催日：2007/09/27)

タイトル/著者/発表日/資料番号
表紙

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[発表日]2007/9/27
[資料番号]
目次

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[発表日]2007/9/27
[資料番号]
プラズマディスプレイ用MgO保護膜の構造破壊ダイナミクスと理論設計(プロセス科学と新プロセス技術)

久保 百司,  芹澤 和実,  菊地 宏美,  鈴木 愛,  / 古山 通久,  坪井 秀行,  畠山 望,  遠藤 明,  高羽 洋充,  / 梶山 博司,  篠田 傅,  宮本 明,  

[発表日]2007/9/27
[資料番号]SDM2007-170
分子動力学法によるMgOの力学的物性予測(プロセス科学と新プロセス技術)

大沼 宏彰,  芹澤 和実,  鈴木 愛,  / 古山 通久,  坪井 秀行,  畠山 望,  遠藤 明,  高羽 洋充,  久保 百司,  / 梶山 博司,  篠田 傅,  宮本 明,  

[発表日]2007/9/27
[資料番号]SDM2007-171
計算化学によるプラズマディスプレイ用MgO保護膜の電子放出特性の評価(プロセス科学と新プロセス技術)

芹澤 和実,  大沼 宏彰,  菊地 宏美,  鈴木 愛,  / 古山 通久,  坪井 秀行,  畠山 望,  遠藤 明,  高羽 洋充,  久保 百司,  / 梶山 博司,  篠田 傅,  宮本 明,  

[発表日]2007/9/27
[資料番号]SDM2007-172
新規計算化学手法を用いたDLCの摩擦特性解析(プロセス科学と新プロセス技術)

森田 祐輔,  赦敦 其木格,  鈴木 愛,  / 古山 通久,  坪井 秀行,  畠山 望,  遠藤 明,  高羽 洋充,  久保 百司,  / 宮本 明,  

[発表日]2007/9/27
[資料番号]SDM2007-173
Influence of Chemical Topology on the Electrical Properties of Carbon Black-A Theoretical Study

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[発表日]2007/9/27
[資料番号]SDM2007-174
先端DRMAでのSiONゲート絶縁膜における窒素プロファイルと素子特性について(プロセス科学と新プロセス技術)

村川 恵美,  竹内 政志,  本田 稔,  石塚 修一,  中西 敏雄,  廣田 良浩,  菅原 卓也,  田中 義嗣,  赤坂 泰志,  寺本 章伸,  須川 成利,  大見 忠弘,  

[発表日]2007/9/27
[資料番号]SDM2007-175
マルチスケールトンネル電流シミュレータの開発(プロセス科学と新プロセス技術)

坪井 秀行,  芹澤 和実,  鈴木 愛,  サヌーン リアド,  古山 通久,  畠山 望,  遠藤 明,  高羽 洋充,  久保 百司,  デルカルピオ カルロスA.,  梶山 博司,  篠田 傳,  宮本 明,  

[発表日]2007/9/27
[資料番号]SDM2007-176
Development of Multi-Scale Electrical Conductivity Simulator with the Joule Heating Module and its Application to Polycrystalline SiO_2

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[発表日]2007/9/27
[資料番号]SDM2007-177
ECRプラズマプロセスによるHfO_2系絶縁膜の極薄膜化の検討(プロセス科学と新プロセス技術)

仲野 雄介,  佐藤 雅樹,  大見 俊一郎,  

[発表日]2007/9/27
[資料番号]SDM2007-178
機械的歪み印加によるSrTiO_3MIMキャパシタ誘電率変調(プロセス科学と新プロセス技術)

黒木 伸一郎,  小谷 光司,  伊藤 隆司,  

[発表日]2007/9/27
[資料番号]SDM2007-179
Theoretic Study of Electronic and Electrical Properties for Nano-Structural ZnO

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[発表日]2007/9/27
[資料番号]SDM2007-180
Tight-Binding Quantum Chemical Molecular Dynamics Study on Interfacial Electron Transfer in Dye-Sensitized Anatase (001) Surface

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[発表日]2007/9/27
[資料番号]SDM2007-181
量子分子動力学法によるダイヤモンドライクカーボン膜生成過程の検討(プロセス科学と新プロセス技術)

敷敦 其木格,  森田 祐輔,  鈴木 愛,  / 古山 通久,  坪井 秀行,  畠山 望,  遠藤 明,  高羽 洋充,  久保 百司,  / 宮本 明,  

[発表日]2007/9/27
[資料番号]SDM2007-182
低誘電率アモルファスハイドロカーボン(aCHx)膜の銅配線バリアー特性の検討(プロセス科学と新プロセス技術)

石川 拓,  野沢 俊久,  松岡 孝明,  寺本 章伸,  平山 昌樹,  伊藤 隆司,  大見 忠弘,  

[発表日]2007/9/27
[資料番号]SDM2007-183
減圧雰囲気下でプラズマとCa(OH)_2/CaOを用いる高効率フロロカーボン除去システムの開発(プロセス科学と新プロセス技術)

鈴木 克昌,  石原 良夫,  迫田 薫,  白井 泰雪,  寺本 章伸,  平山 昌樹,  大見 忠弘,  渡辺 高行,  

[発表日]2007/9/27
[資料番号]SDM2007-184
色素増感型太陽電池のためのマルチスケールシミュレータの開発(プロセス科学と新プロセス技術)

扇谷 恵,  呂 晨,  鈴木 愛,  / 古山 通久,  坪井 秀行,  畠山 望,  遠藤 明,  高羽 洋充,  久保 百司,  / 宮本 明,  

[発表日]2007/9/27
[資料番号]SDM2007-185
マイクロ波CVDを用いた高移動度ボトムゲート微結晶シリコンTFTの試作(プロセス科学と新プロセス技術)

廣江 昭彦,  寺本 章伸,  大見 忠弘,  

[発表日]2007/9/27
[資料番号]SDM2007-186
High Performance Accumulation Mode FD-SOI MOSFETs on Si(100) and (110) Surfaces

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[発表日]2007/9/27
[資料番号]SDM2007-187
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