エレクトロニクス-シリコン材料・デバイス(開催日:2006/09/28)

タイトル/著者/発表日/資料番号
表紙

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[発表日]2006/9/28
[資料番号]
目次

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[発表日]2006/9/28
[資料番号]
次世代半導体製造プロセスにおける金属不純物汚染制御 : 新規材料元素の拡散挙動予測

嶋崎 綾子,  櫻井 宏紀,  吉村 玲子,  多田 宰,  

[発表日]2006/9/28
[資料番号]SDM2006-172
大規模アレイTEGにより評価した低ビットエラーのKr/O_2/NOトンネル酸窒化膜の形成

諏訪 智之,  熊谷 勇喜,  寺本 章伸,  須川 成利,  大見 忠弘,  

[発表日]2006/9/28
[資料番号]SDM2006-173
Dielectric Breakdown Simulation by Molecular Dynamics and Tight-Binding Quantum Chemistry Methods

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[発表日]2006/9/28
[資料番号]SDM2006-174
Si(100),(110)面上の極薄Si_3N_4-Si界面構造とその電気的特性

荒谷 崇,  樋口 正顕,  濱田 龍文,  寺本 章伸,  服部 武雄,  須川 成利,  大見 忠弘,  品川 誠治,  野平 博司,  池永 英司,  

[発表日]2006/9/28
[資料番号]SDM2006-175
オゾン酸化によるCVD-SiO_2膜の高密度化

河瀬 和雅,  野田 清治,  中井 隆文,  上原 康,  

[発表日]2006/9/28
[資料番号]SDM2006-176
HfSiON絶縁膜を用いたメタルゲートCMOSプロセスの検討

井上 真雄,  坂下 真介,  水谷 斉治,  東 雅彦,  武島 豊,  山成 真市,  林 岳,  西田 征男,  志賀 克哉,  川原 孝昭,  由上 二郎,  吉村 秀文,  米田 昌弘,  

[発表日]2006/9/28
[資料番号]SDM2006-177
PtSiの混晶化による仕事関数変調

大見 俊一郎,  澤熊 悠,  大熊 直樹,  

[発表日]2006/9/28
[資料番号]SDM2006-178
高速化量子分子動力学法によるアナターゼ型TiO_2のキャリア移動度の予測

扇谷 恵,  坪井 秀行,  古山 通久,  遠藤 明,  高羽 洋充,  久保 百司,  / 宮本 明,  

[発表日]2006/9/28
[資料番号]SDM2006-179
Theoretical study on the electrical properties of conducting carbon based materials

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[発表日]2006/9/28
[資料番号]SDM2006-180
A Theoretical Approach for Developing New p-Type Transparent Conducting Metal Oxide

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[発表日]2006/9/28
[資料番号]SDM2006-181
Theoretical Study on the Photophyscial Properties of an Efficient Sensitizer for Nanocrystalline TiO_2-Based Solar Cells

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[発表日]2006/9/28
[資料番号]SDM2006-182
希土類蛍光体の理論設計のための新規計算手法の開発と青色蛍光体BaMgAl_<10>O_<17>:Eu^<2+>の電子状態計算への応用

大沼 宏彰,  坪井 秀行,  古山 通久,  遠藤 明,  高羽 洋充,  久保 百司,  / 宮本 明,  

[発表日]2006/9/28
[資料番号]SDM2006-183
希土類系材料に対する電子数拘束アルゴリズムの開発と量子分子動力学計算への応用

遠藤 明,  大沼 宏彰,  坪井 秀行,  古山 通久,  高羽 洋充,  久保 百司,  / 宮本 明,  

[発表日]2006/9/28
[資料番号]SDM2006-184
プラズマディスプレイ用MgO保護膜の構造破壊ダイナミクスと再結晶化プロセス

久保 百司,  菊地 宏美,  坪井 秀行,  古山 通久,  遠藤 明,  高羽 洋充,  / 宮本 明,  

[発表日]2006/9/28
[資料番号]SDM2006-185
ダイヤモンドライクカーボンの成長と構造特性の分子動力学シミュレーション

柴田 俊明,  高橋 周子,  三浦 隆治,  坪井 秀行,  古山 通久,  遠藤 明,  高羽 洋充,  久保 百司,  / 宮本 明,  

[発表日]2006/9/28
[資料番号]SDM2006-186
電気伝導度推算シミュレータの各種半導体デバイス材料への応用およびWiedemann-Franz則による熱伝導度推算手法の開発

坪井 秀行,  鈴木 豪人,  扇谷 恵,  / 朱 志剛,  呂 晨,  古山 通久,  遠藤 明,  高羽 洋充,  久保 百司,  / 宮本 明,  

[発表日]2006/9/28
[資料番号]SDM2006-187
High Performance and Highly Reliable Novel CMOS Devices Using Accumulation Mode Fully Depleted SOI MOSFETs

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[発表日]2006/9/28
[資料番号]SDM2006-188
微細MOSトランジスタ特性の統計的ばらつき評価手法に関する研究

阿部 健一,  渡部 俊一,  須川 成利,  寺本 章伸,  大見 忠弘,  

[発表日]2006/9/28
[資料番号]SDM2006-189
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