エレクトロニクス-シリコン材料・デバイス(開催日:2004/12/09)

タイトル/著者/発表日/資料番号
表紙

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[発表日]2004/12/9
[資料番号]
目次

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[発表日]2004/12/9
[資料番号]
短チャネル4H-SiC MOSFETの作製と短チャネル効果の理論的解析(<特集>シリコン関連材料の作製と評価)

登尾 正人,  神崎 庸輔,  須田 淳,  木本 恒暢,  松波 弘之,  

[発表日]2004/12/9
[資料番号]SDM2004-192
4H-SiC RESURF MOSFETにおける最適ドーズ設計(<特集>シリコン関連材料の作製と評価)

河野 広明,  木本 恒暢,  須田 淳,  松波 弘之,  

[発表日]2004/12/9
[資料番号]SDM2004-193
液体クラスターイオンビームによるSi基板表面照射効果(<特集>シリコン関連材料の作製と評価)

川下 将一,  野口 英剛,  中山 和也,  高岡 義寛,  

[発表日]2004/12/9
[資料番号]SDM2004-194
陽極化成法によるp型シリコンのマクロポアおよび針状結晶の形成(<特集>シリコン関連材料の作製と評価)

御手洗 夕子,  原田 曠嗣,  石丸 寛之,  松本 晋,  森 圭子,  

[発表日]2004/12/9
[資料番号]SDM2004-195
PRSによるHigh-kゲート絶縁膜中の固定電荷の評価(<特集>シリコン関連材料の作製と評価)

寒川 雅之,  金島 岳,  吉田 真人,  多田 泰三,  奥山 雅則,  藤本 晶,  

[発表日]2004/12/9
[資料番号]SDM2004-196
BIT薄膜に及ぼす下部Pt電極の安定性(<特集>シリコン関連材料の作製と評価)

山口 正樹,  山本 麻,  佐藤 嘉國,  増田 陽一郎,  

[発表日]2004/12/9
[資料番号]SDM2004-197
鉄シリサイドの結晶成長と電気,光学特性の改善(<特集>シリコン関連材料の作製と評価)

前田 佳均,  寺井 慶和,  

[発表日]2004/12/9
[資料番号]SDM2004-198
シリコン薄膜のレーザ結晶化(<特集>シリコン関連材料の作製と評価)

鮫島 俊之,  渡壁 創,  安藤 伸行,  東 清一郎,  

[発表日]2004/12/9
[資料番号]SDM2004-199
ELAポリシリコン薄膜の大粒径化 : 結晶成長と水素の関係(<特集>シリコン関連材料の作製と評価)

河本 直哉,  増田 淳,  松尾 直人,  瀬里 泰洋,  松村 英樹,  浜田 弘喜,  三好 正毅,  

[発表日]2004/12/9
[資料番号]SDM2004-200
イオンドーピングした不純物の活性化(<特集>シリコン関連材料の作製と評価)

鮫島 俊之,  安藤 伸行,  安東 靖典,  

[発表日]2004/12/9
[資料番号]SDM2004-201
極薄ゲートSiO_2膜Poly-Si CMOSトランジスタのホットキャリア劣化(<特集>シリコン関連材料の作製と評価)

宮下 誠,  菅原 祐太,  北島 浩司,  畑山 智亮,  矢野 裕司,  浦岡 行治,  冬木 隆,  芹川 正,  

[発表日]2004/12/9
[資料番号]SDM2004-202
多結晶シリコン薄膜トランジスタの動作解析(<特集>シリコン関連材料の作製と評価)

鮫島 俊之,  浅見 雅彦,  渡壁 創,  安藤 伸行,  

[発表日]2004/12/9
[資料番号]SDM2004-203
低温Poly-Si TFTにおける発熱劣化の解析(<特集>シリコン関連材料の作製と評価)

北島 浩司,  菅原 祐太,  矢野 裕司,  畑山 智亮,  浦岡 行治,  冬木 隆,  橋本 伸一郎,  森田 幸弘,  

[発表日]2004/12/9
[資料番号]SDM2004-204
新構造TFTのAM-OLEDへの応用(<特集>シリコン関連材料の作製と評価)

松尾 直人,  河本 直哉,  山本 暁徳,  

[発表日]2004/12/9
[資料番号]SDM2004-205
Side-Wall電極型PECVDによるSiナノドットメモリ(<特集>シリコン関連材料の作製と評価)

市川 和典,  向 正人,  パンチャイペッチ P.,  矢野 裕司,  畑山 智亮,  浦岡 行治,  冬木 隆,  高橋 英治,  林 司,  緒方 潔,  

[発表日]2004/12/9
[資料番号]SDM2004-206
Sub-keV As^+注入における深さ方向プロファイルの評価(<特集>シリコン関連材料の作製と評価)

江藤 隆則,  芝原 健太郎,  

[発表日]2004/12/9
[資料番号]SDM2004-207
高密度低消費電力FeRAMメモリセルアーキテクチャー(<特集>シリコン関連材料の作製と評価)

平野 博茂,  坂上 雅彦,  山岡 邦吏,  中熊 哲治,  岩成 俊一,  村久木 康夫,  三木 隆,  五寳 靖,  藤井 英治,  

[発表日]2004/12/9
[資料番号]SDM2004-208
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[発表日]2004/12/9
[資料番号]
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