エレクトロニクス-シリコン材料・デバイス(開催日:2004/06/14)

タイトル/著者/発表日/資料番号
表紙

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[発表日]2004/6/14
[資料番号]
目次

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[発表日]2004/6/14
[資料番号]
非対称分極書き込みによる非破壊読み出し型強誘電体メモリのインプリント耐性改善(ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)

香山 信三,  加藤 剛久,  山田 隆善,  嶋田 恭博,  

[発表日]2004/6/14
[資料番号]SDM2004-35
低コストと高性能を両立させた65nmノード対応多層配線技術(ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)

植木 誠,  成廣 充,  大竹 浩人,  田上 政由,  多田 宗弘,  伊藤 文則,  原田 恵充,  阿部 真理,  井上 尚也,  新井 浩一,  竹内 常雄,  齋藤 忍,  小野寺 貴弘,  古武 直也,  廣井 政幸,  関根 誠,  林 喜宏,  

[発表日]2004/6/14
[資料番号]SDM2004-36
65nm世代CMOSプラットホームの多層プロセスの開発について : ハイブリッド多層構造の量産実用化(ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)

本多 健二,  神田 昌彦,  石塚 竜嗣,  森内 真優美,  松原 義徳,  土生 真理子,  吉田 毅,  松田 聡,  橘高 秀吉,  宮島 秀史,  蜂谷 貴世,  梶田 明広,  臼井 孝公,  金村 龍一,  長島 直樹,  岡本 裕,  山田 誠司,  野口 達夫,  

[発表日]2004/6/14
[資料番号]SDM2004-37
TEMトモグラフ法によるLow-k膜空孔の3次元構造の評価、および空孔構造のプロセスへ与える影響(ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)

島田 美代子,  島貫 純一,  大塚 信幸,  古谷 晃,  井上 靖秀,  小川 真一,  

[発表日]2004/6/14
[資料番号]SDM2004-38
SiO_2/Si界面下に誘起された格子歪み : 位相敏感X線回折法による(ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)

矢代 航,  三木 一司,  隅谷 和嗣,  高橋 敏男,  依田 芳卓,  高橋 健介,  服部 健雄,  

[発表日]2004/6/14
[資料番号]SDM2004-39
ラジカル窒化過程におけるエネルギーバンドギャップ形成機構のSTM/STS解析(ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)

近藤 博基,  河合 圭吾,  宮崎 香代子,  酒井 朗,  財満 鎭明,  安田 幸夫,  

[発表日]2004/6/14
[資料番号]SDM2004-40
堆積温度上昇によるMOCVD HfO_2膜のフッ酸エッチング速度の急激な低下(ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)

藤井 眞治,  宮田 典幸,  右田 真司,  堀川 剛,  鳥海 明,  

[発表日]2004/6/14
[資料番号]SDM2004-41
HfO_2/SiN_x/Si(100)スタック構造における界面酸化反応評価(ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)

中川 博,  大田 晃生,  竹野 文人,  長町 学,  村上 秀樹,  東 清一郎,  宮崎 誠一,  

[発表日]2004/6/14
[資料番号]SDM2004-42
放射光光電子分光とX線吸収分光による高誘電率HfO_2膜の電子状態 : UHV中アニール効果(ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)

豊田 智史,  岡林 潤,  組頭 広志,  尾嶋 正治,  丹羽 正昭,  臼田 宏治,  劉 国林,  

[発表日]2004/6/14
[資料番号]SDM2004-43
光電子分光分析によるHfAlOx/Si(100)系スタック構造における界面反応評価(ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)

大田 晃生,  中川 博,  村上 秀樹,  東 清一郎,  宮崎 誠一,  川原 孝昭,  鳥居 和功,  

[発表日]2004/6/14
[資料番号]SDM2004-44
窒素励起活性種を用いたPLD-HfSixOy膜への窒素導入 : Hfの組成と窒素プロファイルの制御(ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)

中村 秀碁,  パンチャイペッチ プラカイペッチ,  矢野 裕司,  畑山 智亮,  浦岡 行治,  冬木 隆,  堀井 貞義,  

[発表日]2004/6/14
[資料番号]SDM2004-45
気液ハイブリッド法によるハフニウムシリケート薄膜の作製とその電気特性 : TEOSによるシリケート膜の成長(ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)

玄 一,  北條 大介,  安田 哲二,  

[発表日]2004/6/14
[資料番号]SDM2004-46
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[発表日]2004/6/14
[資料番号]
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[発表日]2004/6/14
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