エレクトロニクス-シリコン材料・デバイス(開催日:2001/03/06)

タイトル/著者/発表日/資料番号
表紙

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[発表日]2001/3/6
[資料番号]
目次

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[発表日]2001/3/6
[資料番号]
Ru(C_5H_4C_2H_5)_2/THF原料を用いたCVD法によるRu電極の形成

嶋本 泰洋,  平谷 正彦,  松井 裕一,  生田目 俊秀,  

[発表日]2001/3/6
[資料番号]SDM2000-236
高品質SrBi_2Ta_2O_9薄膜の低温合成と配向制御

額賀 紀全,  三矢 昌俊,  舟窪 浩,  

[発表日]2001/3/6
[資料番号]SDM2000-237
Pb(Mg_<1/3>Nb_<2/3>)O_3薄膜コンデンサの作製と電気特性

生田目 俊秀,  鈴木 孝明,  岡本 達司,  綿引 誠次,  荻原 衛,  田中 稔,  松山 治彦,  

[発表日]2001/3/6
[資料番号]SDM2000-238
層間絶縁膜中OH基によるPt/PLZT/Ptキャパシタの劣化

末永 和史,  尾形 潔,  脇 弘道,  森 光廣,  

[発表日]2001/3/6
[資料番号]SDM2000-239
モルフォトロピック相境界と物性

石橋 善弘,  

[発表日]2001/3/6
[資料番号]SDM2000-240
[OTHERS]

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[発表日]2001/3/6
[資料番号]