エレクトロニクス-シリコン材料・デバイス(開催日:1999/11/19)

タイトル/著者/発表日/資料番号
表紙

,  

[発表日]1999/11/19
[資料番号]
目次

,  

[発表日]1999/11/19
[資料番号]
0.18um以降世代用電子ビームマスク描画装置EX-11の開発 : 電子ビームマスク描画装置EX-11の描画精度評価

山崎 聡,  中山田 憲昭,  松木 一人,  飯島 智浩,  小碇 創司,  明野 公信,  平野 亮一,  

[発表日]1999/11/19
[資料番号]SDM99-156
投影レンズ収差の自動測定方法の検討

早野 勝也,  長谷川 昇雄,  井古田 まさみ,  浅井 尚子,  今井 彰,  

[発表日]1999/11/19
[資料番号]SDM99-157
Inspection results of ARC and organic materials by spectroscopic ellipsometry for photolithography applications.

,  

[発表日]1999/11/19
[資料番号]SDM99-158
ArFリソグラフィーにおけるハーフトーン型位相シフトマスクの開発

中澤 啓輔,  松尾 隆弘,  小野寺 俊雄,  宮崎 順二,  岡川 崇,  小川 透,  森本 博明,  

[発表日]1999/11/19
[資料番号]SDM99-159
微細MOSFETデバイスの試作に用いる電子線描画に関する研究

片岡 耕太郎,  藤原 郁夫,  林田 茂樹,  小倉 孝之,  梅谷 正人,  田辺 昭,  桜庭 弘,  遠藤 哲郎,  舛岡 富士雄,  

[発表日]1999/11/19
[資料番号]SDM99-160
DRAM混載ロジックに対応したゲートシュリンク技術の開発

大沼 英寿,  菊地 晃司,  東 瑞穂,  川平 博一,  

[発表日]1999/11/19
[資料番号]SDM99-161
1トランジスタ/1キャパシタ型及びGAINセル型Chain FRAMの設計法

渡辺 重佳,  高島 大三郎,  首藤 晋,  国島 巌,  竹中 博幸,  大脇 幸人,  田中 真一,  

[発表日]1999/11/19
[資料番号]SDM99-162
[OTHERS]

,  

[発表日]1999/11/19
[資料番号]