エレクトロニクス-シリコン材料・デバイス(開催日：1996/07/20)

タイトル/著者/発表日/資料番号
表紙

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[発表日]1996/7/20
[資料番号]
目次

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[発表日]1996/7/20
[資料番号]
0.25μmULSI多層配線のための選択CVD-Alビアプラグ平坦化技術

天沢 敬生,  山本 栄一,  有田 睦信,  

[発表日]1996/7/20
[資料番号]SDM96-64,ICD96-84
異方性選択エピタキシャル成長を用いたギガビットDRAMコンタクト技術 : セルフアラインコンタクトパッドの形成

波田 博光,  辰巳 徹,  宮永 恵子,  巌 庄ー,  森 秀光,  小山 邦明,  

[発表日]1996/7/20
[資料番号]SDM96-65,ICD96-85
微細CM0Sの高周波分野への応用

久本 大,  田中 聡,  谷本 琢磨,  木村 神一郎,  

[発表日]1996/7/20
[資料番号]SDM96-66,ICD96-86
[OTHERS]

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[発表日]1996/7/20
[資料番号]