エレクトロニクス-電子デバイス(開催日:2009/06/04)

タイトル/著者/発表日/資料番号
表紙

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[発表日]2009/6/4
[資料番号]
目次

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[発表日]2009/6/4
[資料番号]
Cu-CMP後洗浄用有機防食剤のCu錯体溶解評価(半導体のプロセス・デバイス(表面,界面,信頼性),一般)

伊藤 篤史,  原田 憲,  河瀬 康弘,  水谷 文一,  原 誠,  青木 秀充,  木村 千春,  杉野 隆,  

[発表日]2009/6/4
[資料番号]ED2009-36
導波路管型高周波超音波洗浄機によるCMP後洗浄(半導体のプロセス・デバイス(表面,界面,信頼性),一般)

鈴木 一成,  潘 毅,  岡野 勝一,  副島 潤一郎,  小池 義和,  

[発表日]2009/6/4
[資料番号]ED2009-37
ベベルブラシ洗浄プロセスの開発(半導体のプロセス・デバイス(表面,界面,信頼性),一般)

萩本 賢哉,  岩元 勇人,  

[発表日]2009/6/4
[資料番号]ED2009-38
メチルBCN膜のRFバイアスによる膜質依存性(半導体のプロセス・デバイス(表面,界面,信頼性),一般)

増住 拓朗,  原 誠,  青木 秀充,  呂 志明,  木村 千春,  杉野 隆,  

[発表日]2009/6/4
[資料番号]ED2009-39
GaN中のプラズマ照射誘起欠陥の電気的評価(半導体のプロセス・デバイス(表面,界面,信頼性),一般)

中村 成志,  星野 晃一,  落合 俊輔,  須原 理彦,  奥村 次徳,  

[発表日]2009/6/4
[資料番号]ED2009-40
原子層堆積により形成したAl_2O_3/AlGaN/GaNの界面評価(半導体のプロセス・デバイス(表面,界面,信頼性),一般)

水江 千帆子,  堀 祐臣,  ミツェーク マルチン,  橋詰 保,  

[発表日]2009/6/4
[資料番号]ED2009-41
MIS構造AlGaN/GaN HFETにおける絶縁膜/AlGaN/GaN層構造設計によるデバイス高性能化(半導体のプロセス・デバイス(表面,界面,信頼性),一般)

前田 就彦,  廣木 正伸,  榎木 孝知,  小林 隆,  

[発表日]2009/6/4
[資料番号]ED2009-42
AlGaN/GaN-HEMTに対するドライエッチングの低ダメージ化の検討(半導体のプロセス・デバイス(表面,界面,信頼性),一般)

蔵口 雅彦,  湯元 美樹,  高田 賢治,  津田 邦男,  

[発表日]2009/6/4
[資料番号]ED2009-43
歪み印加時のInAsとInSbのバンド構造と電子輸送特性に関する理論的解析(半導体のプロセス・デバイス(表面,界面,信頼性),一般)

西野 啓之,  川平 一太,  原 紳介,  藤代 博記,  

[発表日]2009/6/4
[資料番号]ED2009-44
InGaAs/InP二次元電子移動度の異方性(半導体のプロセス・デバイス(表面,界面,信頼性),一般)

赤堀 誠志,  / 工藤 昌宏,  /,  鈴木 寿一,  

[発表日]2009/6/4
[資料番号]ED2009-45
SiO_2細線埋込InP系HBTにおけるCBr_4を使ったin-situエッチング(半導体のプロセス・デバイス(表面,界面,信頼性),一般)

武部 直明,  山下 浩明,  高橋 新之助,  齋藤 尚史,  小林 嵩,  宮本 恭幸,  古屋 一仁,  

[発表日]2009/6/4
[資料番号]ED2009-46
熱CVD成長SiN膜を用いたゲートリセス構造MIS-AlGaN/GaN-HEMTの電気特性(半導体のプロセス・デバイス(表面,界面,信頼性),一般)

丸井 俊治,  星 真一,  戸田 典彦,  森野 芳昭,  伊藤 正紀,  大来 英之,  玉井 功,  関 昇平,  

[発表日]2009/6/4
[資料番号]ED2009-47
GaN-HEMTエピ構造最適化によるオフ電流低減(半導体のプロセス・デバイス(表面,界面,信頼性),一般)

山田 敦史,  牧山 剛三,  多木 俊裕,  金村 雅仁,  常信 和清,  今西 健治,  原 直紀,  吉川 俊英,  

[発表日]2009/6/4
[資料番号]ED2009-48
SiC基板上AlGaN/GaN HEMTの基板オフ角依存(半導体のプロセス・デバイス(表面,界面,信頼性),一般)

松下 景一,  桜井 博幸,  / 沈 正七,  川崎 久夫,  高木 一考,  高田 賢治,  津田 邦男,  

[発表日]2009/6/4
[資料番号]ED2009-49
複写される方へ

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[発表日]2009/6/4
[資料番号]
Notice for Photocopying

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[発表日]2009/6/4
[資料番号]
奥付

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[発表日]2009/6/4
[資料番号]