エレクトロニクス-電子部品・材料(開催日:2000/10/20)

タイトル/著者/発表日/資料番号
表紙

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[発表日]2000/10/20
[資料番号]
目次

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[発表日]2000/10/20
[資料番号]
ECRプラズマ堆積Si膜の低温エピタキシャル成長特性

吉田 行男,  高橋 幸大,  佐々木 公洋,  

[発表日]2000/10/20
[資料番号]CPM2000-127
ケミカル・スパッタリング法による巨大粒径poly-Si薄膜の作製

亀崎 浩司,  増田 淳,  和泉 亮,  松村 英樹,  

[発表日]2000/10/20
[資料番号]CPM2000-128
高コヒーレント直線偏光パルスレーザービームによる結晶化Si薄膜の粒界位置制御

中田 靖則,  堀田 將,  

[発表日]2000/10/20
[資料番号]CPM2000-129
MMSiを用いたトライオードプラズマCVD法による3C-SiCの低温成長

前田 智彦,  成田 克,  安井 寛治,  赤羽 正志,  

[発表日]2000/10/20
[資料番号]CPM2000-130
ヘリカルアンテナを用いたアンモニアプラズマの生成と半導体表面窒化の試み

荒山 達朗,  奥谷 聡,  安井 寛治,  赤羽 正志,  

[発表日]2000/10/20
[資料番号]CPM2000-131
熱フィラメントアシストスパッタ法による結晶性炭素薄膜の生成

松元 裕次,  武田 聡史,  中尾 眞人,  上村 喜一,  小沼 義治,  

[発表日]2000/10/20
[資料番号]CPM2000-132
低抵抗抵抗器のための電極接触抵抗の検討

岡田 伸介,  茨木 聡一郎,  中尾 眞人,  小沼 義治,  上村 喜一,  大江 秀美,  佐久間 敏幸,  

[発表日]2000/10/20
[資料番号]CPM2000-133
タッチパネル用SnO_2:Nb透明導電性薄膜の作製とその評価

岸尾 悦郎,  菊地 直人,  草野 英二,  南戸 秀仁,  金原 粲,  

[発表日]2000/10/20
[資料番号]CPM2000-134
[OTHERS]

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[発表日]2000/10/20
[資料番号]