エレクトロニクス-電子部品・材料(開催日：2001/10/19)

タイトル/著者/発表日/資料番号
高周波マグネトロンスパッタリング法を用いた低誘電性有機薄膜の作製

林 利江,  菊地 直人,  草野 英二,  南戸 秀人,  金原 粲,  

[発表日]2001/10/19
[資料番号]CPM2001-109
Re酸化物薄膜の発色と伝導性

大久保 学,  松尾 幸治,  岩田 展幸,  山本 寛,  

[発表日]2001/10/19
[資料番号]CPM2001-110
スパッタ法によるTiO_2薄膜堆積中の基板入射粒子の観察

星 陽一,  

[発表日]2001/10/19
[資料番号]CPM2001-111
DMSを用いたトライオードプラズマCVD法による3C-SiCの低温エピ成長

橋場 正啓,  前田 智彦,  安井 寛治,  赤羽 正志,  

[発表日]2001/10/19
[資料番号]CPM2001-112
ZnO薄膜を表面に生成させたATカット水晶振動子の周波数湿度特性

黒岩 真弓,  中澤 光男,  佐野 東樹,  小沼 義治,  上村 喜一,  

[発表日]2001/10/19
[資料番号]CPM2001-113
反応性スパッタ法によるイットリア安定化ジルコニア薄膜の作成とその諸特性

松井 俊幸,  薮内 英彦,  林部 林平,  小沼 義治,  上村 喜一,  

[発表日]2001/10/19
[資料番号]CPM2001-114
[OTHERS]

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[発表日]2001/10/19
[資料番号]
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