エレクトロニクス-電子部品・材料(開催日:1997/10/31)

タイトル/著者/発表日/資料番号
結晶性炭素薄膜の生成とその諸特性評価

河合 善史,  Oo Myo Than,  中尾 眞人,  上村 喜一,  松島 久夫,  小沼 義治,  

[発表日]1997/10/31
[資料番号]CPM97-134
高速クラスター堆積技術

石井 清,  天野 春日,  濱欠 裕貴,  

[発表日]1997/10/31
[資料番号]CPM97-135
スパッタガス圧によるバリウムフェライト薄膜の組成変化の機構

神戸 明宏,  鈴木 英佐,  星 陽一,  

[発表日]1997/10/31
[資料番号]CPM97-136
SiGeのIBSによるエピタキシャル成長 : 斜め入射スパッタ過程のシミュレーション

佐々木 公洋,  水谷 道夫,  畑 朋延,  

[発表日]1997/10/31
[資料番号]CPM97-137
[OTHERS]

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[発表日]1997/10/31
[資料番号]
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