| 大会名称 |
|---|
| 2016年 ソサイエティ大会 |
| 大会コ－ド |
| 2016S |
| 開催年 |
| 2016 |
| 発行日 |
| 2016-09-06 |
| セッション番号 |
| CI-3 |
| セッション名 |
| IoT時代に求められるセンサ技術・デバイス |
| 講演日 |
| 2016/9/20 |
| 講演場所(会議室等) |
| 工学部 情報科学研究科棟 A12 |
| 講演番号 |
| CI-3-6 |
| タイトル |
| 産学連携による融合マイクロシステムの開発 |
| 著者名 |
| 小野崇人, |
| キーワード |
| 集積化MEMS |
| 抄録 |
| LSIとMEMSを融合する技術は、IoT機器等で使われるセンサやデバイス等で、情報処理や通信機能を付与するために極めて重要である。東北大学が中心になって進めている「マイクロシステム融合研究開発拠点」では、マイクロシステムと最新のLSIとを一体化した新しい融合マイクロシステムを産産学連携により開発している。特に、産産学連携による乗合ウエハでは、複数の研究グループや企業が同じウエハ上にLSIを乗り合って作ることで、研究開発コストを低減している。講演では、本プロジェクトの概要と現状について報告する。 |
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