| 大会名称 |
|---|
| 2016年 ソサイエティ大会 |
| 大会コ－ド |
| 2016S |
| 開催年 |
| 2016 |
| 発行日 |
| 2016-09-06 |
| セッション番号 |
| CI-3 |
| セッション名 |
| IoT時代に求められるセンサ技術・デバイス |
| 講演日 |
| 2016/9/20 |
| 講演場所(会議室等) |
| 工学部 情報科学研究科棟 A12 |
| 講演番号 |
| CI-3-4 |
| タイトル |
| 酸化物半導体ガスセンサ －研究開発の最前線－ |
| 著者名 |
| 島ノ江憲剛, |
| キーワード |
| ガスセンサ, 金属酸化物, 半導体 |
| 抄録 |
| 半導体ガスセンサは1962年に発明され、当初はガス漏れ警報器や一酸化炭素中毒防止を目的として研究開発が行われてきた。当初の検知感度は数千から数百ppmであったが、1980年代後半に環境関連ガス検知の重要性が求められ、その検出感度はppmやサブppmレベルとなり、センサの材料設計が研究開発の重要な鍵となってきた。現在では、ppbレベルの検知が環境関連およびヘルスケア・医療分野で求められるようになっている。このような動向の中で、消費電力を極力抑えたマイクロ素子（MEMS）が1990年代後半に報告され、ガスセンサシステムとしての広がりも大いに期待されている。本講演では、高感度かつ小型の半導体ガスセンサの研究開発の現状について解説したい。 |
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