| 大会名称 |
|---|
| 2016年 ソサイエティ大会 |
| 大会コ－ド |
| 2016S |
| 開催年 |
| 2016 |
| 発行日 |
| 2016-09-06 |
| セッション番号 |
| ACI-1 |
| セッション名 |
| センサ及びセンシング回路 |
| 講演日 |
| 2016/9/21 |
| 講演場所(会議室等) |
| 工学部 N棟 N307 |
| 講演番号 |
| ACI-1-1 |
| タイトル |
| MEMS技術とセンサ応用 |
| 著者名 |
| 積 知範, |
| キーワード |
| MEMS, Sensor, Sensor Network |
| 抄録 |
| MEMS技術によりセンサは飛躍的な進化を遂げ、スマートフォンには多数のMEMSセンサが活用されている。今後もMEMS技術を活用したセンサは、到来するIoT時代の重要なデバイスとして活躍し、よりよい社会の実現に大きな貢献をする期待が高まっている。本講演ではMEMSセンサの技術開発例とその応用について紹介する。 |
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