大会名称
2016年 ソサイエティ大会
大会コ-ド
2016S
開催年
2016
発行日
2016-09-06
セッション番号
C-10
セッション名
電子デバイス/シリコン材料・デバイス
講演日
2016/9/21
講演場所(会議室等)
工学部 情報科学研究科棟 A12
講演番号
C-10-9
タイトル
CMOSテラヘルツ検出器の設計と評価
著者名
◎脇田幸典池辺将之Arnold Stevanus尾辻泰一瀧田佑馬南出泰亜佐野栄一
キーワード
テラヘルツ, CMOS, 検出器, イメージング
抄録
近年、テラヘルツ波を用いたイメージングが注目を集めている。本研究では、MOSFETの非線形性を用いたテラヘルツ波の直接検波回路を提案する。テラヘルツ検出器は低コストである180 nm SiCMOSプロセスを用いて設計及び試作した。検出器はマイクロストリップパッチアンテナ、インピーダンス整合回路そして直接検波回路により構成される。検出器はキャリア周波数0.915 THzにおいて51.9 kV/WのResponsivity、変調周波数31 Hzにおいて358 pW/Hz1/2のNEP(Noise Equivalent Power)を示した。NEPは10 kHzで変調することで33.5 pW/Hz1/2が期待される。検出器のサイズは250x180 umである。これらの成果は低価格テラヘルツイメージングの実現を示唆している。
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