大会名称
2016年 ソサイエティ大会
大会コ-ド
2016S
開催年
2016
発行日
2016-09-06
セッション番号
C-8
セッション名
超伝導エレクトロニクス
講演日
2016/9/20
講演場所(会議室等)
工学部 情報科学研究科棟 A22
講演番号
C-8-10
タイトル
ダブルゲートニオブ集積回路作製プロセス
著者名
○日高睦夫佐藤哲朗永沢秀一
キーワード
ニオブ集積回路, ジョセフソン接合, ダブルーゲート, 作製プロセス
抄録
オンチップで能動素子を縦方向に積み上げた3次元回路は、集積度向上だけでなく異なる機能やパラメータを有するゲートの最短接続が可能となるため、集積回路の大幅な性能向上が期待できる。我々は世界で初めてジョセフソン接合を含むゲート層2層のダブルゲートニオブ集積回路を作製し、ジョセフソン接合特性を始めとするプロセスパラメータの測定を行った。その結果、上下のジョセフソン接合とも良好な特性を示し、臨界電流などのパラメータがrun-to-run変動の範囲内で制御できることが示された。
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