大会名称 |
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2016年 ソサイエティ大会 |
大会コ-ド |
2016S |
開催年 |
2016 |
発行日 |
2016-09-06 |
セッション番号 |
C-8 |
セッション名 |
超伝導エレクトロニクス |
講演日 |
2016/9/20 |
講演場所(会議室等) |
工学部 情報科学研究科棟 A22 |
講演番号 |
C-8-10 |
タイトル |
ダブルゲートニオブ集積回路作製プロセス |
著者名 |
○日高睦夫, 佐藤哲朗, 永沢秀一, |
キーワード |
ニオブ集積回路, ジョセフソン接合, ダブルーゲート, 作製プロセス |
抄録 |
オンチップで能動素子を縦方向に積み上げた3次元回路は、集積度向上だけでなく異なる機能やパラメータを有するゲートの最短接続が可能となるため、集積回路の大幅な性能向上が期待できる。我々は世界で初めてジョセフソン接合を含むゲート層2層のダブルゲートニオブ集積回路を作製し、ジョセフソン接合特性を始めとするプロセスパラメータの測定を行った。その結果、上下のジョセフソン接合とも良好な特性を示し、臨界電流などのパラメータがrun-to-run変動の範囲内で制御できることが示された。 |
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