大会名称
2016年 ソサイエティ大会
大会コ-ド
2016S
開催年
2016
発行日
2016-09-06
セッション番号
C-7
セッション名
磁気記録・情報ストレージ
講演日
2016/9/21
講演場所(会議室等)
工学部 C棟 C208
講演番号
C-7-2
タイトル
Co/Pt原子層積層傾斜磁気異方性膜のスパッタ作製
著者名
○本多直樹山川清志
キーワード
傾斜磁気異方性膜, Co/Pt原子層積層膜, 異常ホール効果
抄録
磁化反転磁界の大きな低減効果が期待される,傾斜異方性2層ECCドットビットパターン媒体への応用を想定し,傾斜磁気異方性膜の作製を検討した.基板回転製膜により,Co/Pt原子層積層膜を作製した.異常ホール効果(AHE)を用いて磁気特性の評価を行い,3原子層積層膜が大きな実効異方性磁界を示すことを見出し,傾斜コリメータスパッタリングにより,6度ほど結晶軸が傾斜したCo/Pt積層膜を得た.AHE磁化ループから異方性軸が傾斜していることが確認できた.
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