大会名称 |
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2016年 ソサイエティ大会 |
大会コ-ド |
2016S |
開催年 |
2016 |
発行日 |
2016-09-06 |
セッション番号 |
C-7 |
セッション名 |
磁気記録・情報ストレージ |
講演日 |
2016/9/21 |
講演場所(会議室等) |
工学部 C棟 C208 |
講演番号 |
C-7-2 |
タイトル |
Co/Pt原子層積層傾斜磁気異方性膜のスパッタ作製 |
著者名 |
○本多直樹, 山川清志, |
キーワード |
傾斜磁気異方性膜, Co/Pt原子層積層膜, 異常ホール効果 |
抄録 |
磁化反転磁界の大きな低減効果が期待される,傾斜異方性2層ECCドットビットパターン媒体への応用を想定し,傾斜磁気異方性膜の作製を検討した.基板回転製膜により,Co/Pt原子層積層膜を作製した.異常ホール効果(AHE)を用いて磁気特性の評価を行い,3原子層積層膜が大きな実効異方性磁界を示すことを見出し,傾斜コリメータスパッタリングにより,6度ほど結晶軸が傾斜したCo/Pt積層膜を得た.AHE磁化ループから異方性軸が傾斜していることが確認できた. |
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