| 大会名称 |
|---|
| 2016年 ソサイエティ大会 |
| 大会コ－ド |
| 2016S |
| 開催年 |
| 2016 |
| 発行日 |
| 2016-09-06 |
| セッション番号 |
| A-6 |
| セッション名 |
| VLSI設計技術 |
| 講演日 |
| 2016/9/20 |
| 講演場所(会議室等) |
| 工学部 C棟 C209 |
| 講演番号 |
| A-6-5 |
| タイトル |
| 可変成形型電子ビーム露光装置のためのサイズ上限を考慮した矩形分割の一手法 |
| 著者名 |
| ◎長谷川 充, 藤吉邦洋, |
| キーワード |
| 多角形分割, EB露光装置, マスクデータ |
| 抄録 |
|
可変成形型電子ビーム露光装置の入力のための回路パターン分割処理で生じる、レクトリニア多角形をできるだけ少ない数の指定されたサイズ以下の矩形の集合に分割せよという問題に対して、内角が270度の頂点を通る線分で構成されるグリッドを用いて、その線分の一部を分割線として多角形を矩形に分割し、その後に指定されたサイズ以下の矩形に分割するという手法を提案する。 そしてランダムに生成した多角形87個について各々計算機実験を行い、最小数の矩形に分割した後に指定されたサイズ以下の矩形に分割した分割結果に対して、提案手法は全入力で少ない分割を得られた。 |
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