大会名称
2011年 ソサイエティ大会
大会コ-ド
2011S
開催年
2011
発行日
2011-08-30
講演日
講演場所(会議室等)
講演番号
A-11-4
タイトル
A-11-4 アモルファスTa_2O_5薄膜の音響関連物理定数の成膜条件依存性(A-11.超音波,一般セッション)
著者名
垣尾 省司保坂 桂子荒川 元孝大橋 雄二櫛引 淳一
キーワード
抄録
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