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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
CPM 2024-02-29
13:45
山形 山形大学工学部
(ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催)
SiおよびN添加ダイヤモンドライクカーボン膜へのO添加の効果
山崎雄也鈴木裕史小林康之中澤日出樹弘前大CPM2023-105
高周波プラズマ化学気相成長法によりシリコン、窒素および酸素を共添加したダイヤモンドライクカーボン(Si-N-O-DLC)... [more] CPM2023-105
pp.38-41
LQE, ED, CPM
(共催)
2023-11-30
14:20
静岡 アクトシティ浜松 ALD-Al2O3絶縁ゲート構造の欠陥低減に向けた水蒸気酸化技術
尾崎史朗熊崎祐介岡本直哉中舍安宏多木俊裕原 直紀富士通ED2023-17 CPM2023-59 LQE2023-57
高周波デバイスに適用可能な原子層堆積(ALD:Atomic Layer Deposition)-Al2O3絶縁ゲート構造... [more] ED2023-17 CPM2023-59 LQE2023-57
pp.15-20
MRIS, CPM, OME
(共催)
ITE-MMS
(連催) [詳細]
2023-10-27
10:30
新潟 新潟大学(駅南キャンパスときめいと)
(ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催)
SiおよびN添加ダイヤモンドライクカーボン膜の機械的特性および耐熱性
山崎雄也佐々木祐弥中澤日出樹弘前大MRIS2023-17 CPM2023-51 OME2023-38
希釈ガスにH2およびArを用いたプラズマ化学気相成長法によりシリコンおよび窒素を共添加したダイヤモンドライクカーボン(S... [more] MRIS2023-17 CPM2023-51 OME2023-38
pp.33-36
OME, IEE-DEI
(連催)
2022-07-18
13:15
長野 軽井沢観光振興センター会議室
(ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催)
[招待講演]イオンアシスト蒸着重合による有機・無機ハイブリッドポリマー積層構造の形成
宮山拓実・○臼井博明東京農工大OME2022-14
有機アクリルモノマー stearyl acrylate (SA) 及びSiO2ナノケージを側鎖に持つ有機・無機ハイブリッ... [more] OME2022-14
pp.1-5
OME 2021-12-24
16:25
ONLINE オンライン開催 [招待講演]物理蒸着によるフッ素系高分子薄膜形成と光学応用
臼井博明東京農工大OME2021-34
フッ素系高分子薄膜は低屈折率,低誘電率,低損失,低表面エネルギーなど特徴的な物性を持つが,難溶性であることや環境負荷が大... [more] OME2021-34
pp.32-37
CPM 2021-10-27
13:20
ONLINE オンライン開催 プラズマ化学気相成長法によるSi及びN添加ダイヤモンドライクカーボン膜の光学的特性および電気的特性に及ぼすH₂及びAr希釈の効果
佐々木祐弥長内公哉大谷優介室野優太佐藤聖能小林康之遠田義晴鈴木裕史中澤日出樹弘前大CPM2021-26
希釈ガスにAr及びH₂を用いたプラズマ化学気相成長法によりケイ素(Si)及び窒素(N)を添加したダイヤモンドライクカーボ... [more] CPM2021-26
pp.23-28
CPM 2021-10-27
14:00
ONLINE オンライン開催 層状構造を有する窒化炭素膜の化学気相堆積
浦上法之高島健介橋本佳男信州大CPM2021-28
グラファイト状窒化炭素(g-C3N4)は層状構造で半導体性質を示し、貴金属を用いない機能性材料の候補として有望である。本... [more] CPM2021-28
pp.31-35
CPM 2019-11-07
15:00
福井 福井大学 文京キャンパス 窒素を添加したDLC膜特性へのアニール効果
長内公哉中村和樹郡山春人小林康之遠田義晴鈴木裕史弘前大)・末光眞希東北大)・中澤日出樹弘前大CPM2019-46
希釈ガスにH2を用いたプラズマ化学気相成長法により窒素を添加したダイヤモンドライクカーボン(N-DLC)膜を作製し、真空... [more] CPM2019-46
pp.9-14
CPM 2019-11-07
15:50
福井 福井大学 文京キャンパス [招待講演]触媒反応支援化学気相成長法を用いた金属酸化物薄膜の成長
安井寛治長岡技科大CPM2019-48
触媒反応を利用して高エネルギーH2O分子を生成、有機金属ガスと気相中で反応させ金属酸化物薄膜を成長させるCVD法の開発と... [more] CPM2019-48
pp.21-26
OME 2018-11-28
13:30
兵庫 じばさんビル502室(姫路) 単元真空蒸着法による鉛ハライドペロブスカイト薄膜の成膜と評価
田中仙君上山夏樹坂戸雅智近畿大OME2018-27
有機無機ハイブリッド半導体の一つである鉛ハライドペロブスカイト材料が新しいオプトエレクトロニクス材料として注目されている... [more] OME2018-27
pp.5-7
SDM 2018-11-09
09:20
東京 機械振興会館 [招待講演]4H-SiCトレンチ埋込成長のトポグラフィシミュレーション
望月和浩紀 世陽小杉亮治米澤喜幸奥村 元産総研SDM2018-70
化学的気相堆積(CVD)を用いた4H-SiCスーパージャンクション素子向けトレンチ埋込成長に関するトポグラフィシミュレー... [more] SDM2018-70
pp.29-34
CPM, IEE-MAG
(連催)
2018-11-02
14:25
新潟 まちなかキャンパス長岡 ケイ素及び窒素を添加したDLC薄膜の熱的安定性
中澤日出樹中村和樹長内公哉郡山春人小林康之遠田義晴鈴木裕史弘前大)・末光眞希東北大CPM2018-52
希釈ガスにH_(2)を用いたプラズマ化学気相成長法により作製したケイ素及び窒素を添加したダイヤモンドライクカーボン(Si... [more] CPM2018-52
pp.99-104
CPM 2018-08-09
14:30
青森 弘前大学文京町地区キャンパス Si添加DLC薄膜への窒素添加の効果
中村和樹大橋 遼弘前大)・横山 大田島圭一郎遠藤則史末光眞希東北大)・遠田義晴小林康之鈴木裕史・○中澤日出樹弘前大CPM2018-8
希釈ガスにH_2を用いたプラズマ化学気相成長法により作製したSi添加DLC(Si-DLC)薄膜の化学結合状態、電気的・光... [more] CPM2018-8
pp.1-6
OME 2018-02-22
13:50
東京 東京農工大学 講義棟L0014 開始剤SAMを用いた表面開始蒸着重合による有機/無機界面の結合形成
齋藤隆喜田中邦明臼井博明東京農工大OME2017-58
Thiol-ene反応を利用し,有機半導体/無機基板界面に共有結合を形成することを試みた.(3-mercaptoprop... [more] OME2017-58
pp.5-9
OME 2018-02-22
16:20
東京 東京農工大学 講義棟L0014 蒸着重合法による共蒸着ポリイミド薄膜の作製と配向制御
山嵜貴俊田中邦明臼井博明東京農工大OME2017-63
酸無水物pyromellitic dianhydrideとジアミン4,4’-diaminoazobenzeneを共蒸着し... [more] OME2017-63
pp.25-28
ITE-IDY, IEE-EDD
(共催)
IEIJ-SSL, SID-JC
(共催)
EID
(連催) [詳細]
2018-01-25
13:40
静岡 静岡大学 浜松キャンパス Ga蒸気を用いる化学気相法により成長したGaN薄膜の発光特性
増田裕一郎長瀬 剛国枝 航光野徹也小南裕子原 和彦静岡大EID2017-31
Ga蒸気とNH3ガスを原料として用いた化学気相成長法(CVD)により,c面サファイア基板上に窒化ガリウム(GaN)薄膜の... [more] EID2017-31
pp.5-8
CPM 2017-10-04
13:50
東京 機械振興会館 r面サファイア基板上に成長させた単層カーボンナノチューブの自由電子レーザ照射効果
シャーマ ロヒト保延賢人高橋祐貴永田知子岩田展幸山本 寛日大CPM2017-59
r面単結晶サファイア基板を用いてホットウォール化学気相成長(Hot-Wall Type Chemical Vapor D... [more] CPM2017-59
pp.1-4
CPM 2017-10-04
14:15
東京 機械振興会館 金属インターカレートした2層グラフェンの電気特性と高圧印加による効果
倉金夏己荒木伊久磨鈴木雅登永田知子岩田展幸高橋博樹山本 寛日大CPM2017-60
Cu箔上にCVD法を用いて単層グラフェンを作製した。Cu箔は、Fe(NO)3溶液によってエッチングした。単層グラフェンは... [more] CPM2017-60
pp.5-10
ITE-IDY, IEE-EDD
(共催)
IEIJ-SSL, SID-JC
(共催)
EID
(連催) [詳細]
2017-01-27
11:34
徳島 徳島大学 Ga蒸気を用いる化学気相法によるGaN薄膜の成長
深澤研介長瀬 剛増田裕一郎光野徹也小南裕子原 和彦静岡大EID2016-45
Ga蒸気とNH3ガスを原料として用いた化学気相成長法によって,c面サファイア基板上に窒化ガリウム (GaN)薄膜の成長を... [more] EID2016-45
pp.125-128
CPM 2016-11-18
16:40
石川 金沢工大 扇が丘キャンパス 自由電子レーザー照射によってカイラリティ制御された面内配向単層カーボンナノチューブの電気特性
川口大貴保延賢人石川翔梧永田知子山本 寛・○岩田展幸日大CPM2016-68
波長800 nmの自由電子レーザー(Free Electron Laser : FEL)、及びSiO2/Si基板を用いて... [more] CPM2016-68
pp.35-40
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