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電子材料研究会 (IEE-EFM)
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電磁界理論技術委員会 (IEE-EMT)
家電・民生技術委員会 (IEE-HCA)
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次世代産業システム (IEE-IIS)
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研究会
発表日時
開催地
タイトル・著者
抄録
資料番号
CPM
2024-02-29
11:15
山形
山形大学工学部
(ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催)
酸化亜鉛薄膜トランジスタを用いたアルコール分子の検出
○
野口竜之介
・
三浦正範
・
有馬ボシールアハンマド
・
廣瀬文彦
(
山形大
)
CPM2023-101
近年、室温動作で低コスト、高感度で選択性のあるVOCを検出するためのガスセンサーの開発に焦点を当てた研究が盛んに行われて...
[more]
CPM2023-101
pp.19-22
EA
,
US
(併催)
2023-12-22
13:00
福岡
九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階
[ポスター講演]エピタキシャルZnO犠牲層を用いたc軸傾斜エピタキシャルScAlN自立薄膜共振子
○
小林 栞
・
柳谷隆彦
(
早大
)
US2023-59
液体中で使用する薄膜共振子型センサやSH-SAWセンサのS/N比を向上するには高い擬似すべりモードの電気機械結合係数k´...
[more]
US2023-59
pp.18-23
EA
,
US
(併催)
2023-12-22
15:20
福岡
九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階
[ポスター講演]c軸傾斜Sc0.4Al0.6N薄膜の大面積成膜を目指した矩形カソードによる平行平板スパッタリング
○
石井直輝
・
島野耀康
・
柳谷隆彦
(
早大
)
US2023-65
Sc濃度が40%を超えるc軸垂直ScAlN薄膜は高い厚み縦モード電気機械結合係数kt2値を持ちBAWフィルタやpMUTへ...
[more]
US2023-65
pp.53-58
US
2023-11-27
13:45
静岡
静岡大学
c軸平行配向ZnO膜の面内配向性及び圧電性の向上と厚みすべりモード共振子への応用 ~ 基板への粒子照射方向を制限したスパッタ成膜に関する検討 ~
○
冨山直樹
・
高柳真司
(
同志社大
)・
柳谷隆彦
(
早大
)
US2023-49
c軸が基板に対して平行に揃ったZnO膜は横波を励振でき、厚みすべりモード共振子に適している。この薄膜はRFマグネトロンス...
[more]
US2023-49
pp.34-39
US
2023-11-27
16:35
静岡
静岡大学
エピScAlN圧電薄膜/エピ音響ブラッグ反射器構造のSMR
○
渡海 智
・
柳谷隆彦
(
早大
)
US2023-55
単結晶圧電薄膜は、多結晶の場合に比べ耐電力性やQ値が高いという特徴を持つ。しかし、SMR (Solidly Mounte...
[more]
US2023-55
pp.67-72
SDM
2023-10-13
16:00
宮城
東北大学未来情報産業研究館5F
強度分布を有するエキシマレーザーアニールによる結晶粒径制御と低温ポリシリコン薄膜トランジスタ特性
○
西田 脩
・
片山慶太
・
中村大輔
(
九大
)・
後藤哲也
(
東北大
)・
池上 浩
(
高知工科大
)
SDM2023-58
エキシマレーザーアニール(ELA)法で結晶化した低温ポリシリコン(LTPS)薄膜トランジスタ(TFT)は、アモルファスシ...
[more]
SDM2023-58
pp.27-33
MIKA
(第三種研究会)
2023-10-10
15:35
沖縄
沖縄県市町村自治会館
(ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催)
[ポスター講演]RFフィルタ向けエピタキシャル圧電薄膜多層構造
○
渡海 智
・
柳谷隆彦
(
早大
)
スマートフォンに代表される無線通信デバイスには、複数の無線周波数から所望の周波数のみを選択し送受信するための周波数フィル...
[more]
US
2023-07-27
16:40
福岡
西日本総合展示場(新館)
薄膜を用いた空中超音波の位相制御の実験的検討
○
伊藤洋一
(
日大
)
US2023-23
.
あらまし 強力空中超音波を利用した応用技術が各種開発され, 多様な分野での利用が急速に高まりつつある. これに...
[more]
US2023-23
pp.28-33
EST
,
MW
,
EMT
,
OPE
,
MWPTHz
(共催)
IEE-EMT
(連催)
[詳細]
2023-07-20
15:15
北海道
室蘭工業大学
(ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催)
Brillouin光散乱法によるScAlN薄膜の弾性定数テンソルの測定
○
内田拓希
(
早大
)・
市橋隼人
(
同志社大
)・
鈴木雅視
(
山梨大
)・
高柳真司
・
松川真美
(
同志社大
)・
柳谷隆彦
(
早大
)
EMT2023-20 MW2023-38 OPE2023-20 EST2023-20 MWPTHz2023-16
Brillouin光散乱法は、膜厚情報に無依存にTime-of-flight を使わずにGHz帯の超音波速度を測定できる...
[more]
EMT2023-20
MW2023-38
OPE2023-20
EST2023-20
MWPTHz2023-16
pp.61-66
SDM
2023-06-26
11:30
広島
広島大学 ナノデバイス研究所
自己組織化単分子膜を用いた極薄SiO2/SiC界面特性の評価
○
奥平 諒
(
関西学院大
)・
川那子高暢
(
東工大
)・
細井卓治
(
関西学院大
)
SDM2023-29
オクタデシルホスホン酸(ODPA: octadecylphosphonic acid)の自己組織化単分子膜(SAM: s...
[more]
SDM2023-29
pp.7-10
US
2023-05-18
11:00
東京
日本大学 駿河台キャンパス
PVDCフィルムを透過した空中超音波の音波放射特性
○
宮坂優佑
・
清水鏡介
・
大隅 歩
・
伊藤洋一
(
日大
)
US2023-1
空中超音波を放射するための種々の空中超音波音源や超音波エミッタが開発されている.一般的にこれらのデバイスから放射される音...
[more]
US2023-1
pp.1-6
SDM
,
OME
(共催)
2023-04-22
09:40
沖縄
沖縄県青年会館
(ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催)
絶縁膜上におけるSn添加Ge薄膜の固相成長とTFT応用
古賀泰志郎
・
永野貴弥
・
茂藤健太
・
山本圭介
・○
佐道泰造
(
九大
)
SDM2023-7 OME2023-7
高性能システムインディスプレイの実現には,高速薄膜トランジスタ(TFT)の創出が必須である.このためSiより高いキャリア...
[more]
SDM2023-7
OME2023-7
pp.27-29
IEIJ-SSL
,
SID-JC
(共催)
ITE-IDY
,
EID
,
IEE-EDD
(連催)
[詳細]
2023-01-27
14:45
ONLINE
オンライン開催 (Webex)
ZnGa2O4:Cr3+遠赤色蛍光体薄膜のポストアニールによる導電性向上の検討
○
谷口明輝
・
蓬莱良太
・
山崎彰久
・
大観光徳
(
鳥取大
)
EID2022-6
電子線蒸着法により成膜したZnGa2O4:Cr3+薄膜にラピッドサーマルアニール(RTA)を施した。N2+H2雰囲気下、...
[more]
EID2022-6
pp.9-12
IEIJ-SSL
,
SID-JC
(共催)
ITE-IDY
,
EID
,
IEE-EDD
(連催)
[詳細]
2023-01-27
15:15
ONLINE
オンライン開催 (Webex)
ミストCVD法により作製したナノ粒子分散(Zn,Mg)O薄膜へのアニールの効果
○
田中京輔
・
奈良俊宏
・
矢ヶ崎 司
・
伊藤里樹
・
光野徹也
・
小南裕子
・
原 和彦
(
静岡大
)
EID2022-7
原料に酢酸化物を用いるミストCVD法により,a面サファイア基板上に, (Zn,Mg)O混晶中にZnOナノ粒子を分散させた...
[more]
EID2022-7
pp.13-16
IEIJ-SSL
,
SID-JC
(共催)
ITE-IDY
,
EID
,
IEE-EDD
(連催)
[詳細]
2023-01-27
15:25
ONLINE
オンライン開催 (Webex)
六方晶BN薄膜の減圧CVD成長の高温化
○
大石泰己
・
渡邊泰良
・
田中佑樹
・
増田克仁
・
吉岡 陸
・
増田希良里
・
小南裕子
・
原 和彦
(
静岡大
)
EID2022-8
BCl₃ と NH₃ を原料とする減圧化学気相法 (CVD) を用いて、c 面サファイア上に六方晶窒化ホウ素 (h-BN...
[more]
EID2022-8
pp.17-20
OME
,
IEE-DEI
(連催)
2023-01-18
17:40
愛知
愛知・日間賀島 ホテル浦島
曲げセンサ応用へ向けたCu2O膜のフレキシブルPET基板上への作製
○
新田亮介
・
久保田雄太
・
松下伸広
(
東工大
)
OME2022-69
溶液プロセスの一つであるスピンスプレー法を用いてフレキシブルPET基板上にCu2O膜を作製し、曲げセンサへの応用を試みた...
[more]
OME2022-69
pp.26-30
OME
,
IEE-DEI
(連催)
2023-01-19
09:25
愛知
愛知・日間賀島 ホテル浦島
[依頼講演]フルオロベンゼン類を有する有機半導体の開発と薄膜デバイスへの応用
○
安田 剛
(
物質・材料研究機構
)・
桑原純平
・
神原貴樹
(
筑波大
)
OME2022-72
有機薄膜デバイスは、新規材料の開発により高効率の特性が得られているが、現状、高効率を示す材料の合成には、数多くの工程が必...
[more]
OME2022-72
pp.37-40
OME
2022-12-26
15:20
沖縄
沖縄県青年会館
(ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催)
[招待講演]時間分解静電気力顕微鏡を用いた導電性有機薄膜の電荷追跡
○
松本卓也
(
阪大
)
OME2022-53
ナノ電子デバイス、太陽電池、触媒などで重要な電荷の動きを追跡する時間分解静電気力顕微鏡の技術と測定例を紹介する。AM-F...
[more]
OME2022-53
pp.13-18
EA
,
US
(併催)
2022-12-22
16:50
広島
サテライトキャンパスひろしま
[ポスター講演]基板付き薄膜共振子を用いたScAlN、ZnO、PZT圧電薄膜層のQ値抽出
○
清水祐樹
(
早大
)・
柳谷隆彦
(
早大/JST
)
US2022-61
スマートフォン向けのRFフィルタでは無線バンドが密集しており、高い急峻性(Q値)が要求される。周波数フィルタの1つである...
[more]
US2022-61
pp.56-61
EA
,
US
(併催)
2022-12-22
16:50
広島
サテライトキャンパスひろしま
[ポスター講演]YbGaNおよびYbAlNエピタキシャル薄膜共振子の特性
○
李 嵩
・
賈 軍軍
・
柳谷隆彦
(
早大
)
US2022-64
AlNやGaN圧電薄膜を用いたバルク弾性波(BAW)共振子は、高い音速と低い機械的損失を持つため、マイクロ波通信用のGH...
[more]
US2022-64
pp.74-79
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