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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| EA, US (併催) |
2023-12-22 13:00 |
福岡 | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 | ［ポスター講演］エピタキシャルZnO犠牲層を用いたc軸傾斜エピタキシャルScAlN自立薄膜共振子 ○小林 栞・柳谷隆彦（早大）  US2023-59 |
液体中で使用する薄膜共振子型センサやSH-SAWセンサのS/N比を向上するには高い擬似すべりモードの電気機械結合係数k´... [more] | US2023-59 pp.18-23 |
| EA, US (併催) |
2023-12-22 15:20 |
福岡 | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 | ［ポスター講演］c軸傾斜Sc0.4Al0.6N薄膜の大面積成膜を目指した矩形カソードによる平行平板スパッタリング ○石井直輝・島野耀康・柳谷隆彦（早大） US2023-65 |
Sc濃度が40%を超えるc軸垂直ScAlN薄膜は高い厚み縦モード電気機械結合係数kt2値を持ちBAWフィルタやpMUTへ... [more] | US2023-65 pp.53-58 |
| US | 2023-11-27 16:35 |
静岡 | 静岡大学 | エピScAlN圧電薄膜／エピ音響ブラッグ反射器構造のSMR ○渡海 智・柳谷隆彦（早大） US2023-55 |
単結晶圧電薄膜は、多結晶の場合に比べ耐電力性やQ値が高いという特徴を持つ。しかし、SMR (Solidly Mounte... [more] | US2023-55 pp.67-72 |
| MIKA (第三種研究会) |
2023-10-10 15:35 |
沖縄 | 沖縄県市町村自治会館 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
［ポスター講演］RFフィルタ向けエピタキシャル圧電薄膜多層構造 ○渡海 智・柳谷隆彦（早大） |
スマートフォンに代表される無線通信デバイスには、複数の無線周波数から所望の周波数のみを選択し送受信するための周波数フィル... [more] | |
| SDM, OME (共催) |
2023-04-22 09:40 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
絶縁膜上におけるSn添加Ge薄膜の固相成長とTFT応用 古賀泰志郎・永野貴弥・茂藤健太・山本圭介・○佐道泰造（九大） SDM2023-7 OME2023-7 |
高性能システムインディスプレイの実現には，高速薄膜トランジスタ(TFT)の創出が必須である．このためSiより高いキャリア... [more] | SDM2023-7 OME2023-7 pp.27-29 |
| IEIJ-SSL, SID-JC (共催) ITE-IDY, EID, IEE-EDD (連催) [詳細] |
2023-01-27 15:15 |
ONLINE | オンライン開催 (Webex) | ミストCVD法により作製したナノ粒子分散(Zn,Mg)O薄膜へのアニールの効果 ○田中京輔・奈良俊宏・矢ヶ崎 司・伊藤里樹・光野徹也・小南裕子・原 和彦（静岡大） EID2022-7 |
原料に酢酸化物を用いるミストCVD法により，a面サファイア基板上に， (Zn,Mg)O混晶中にZnOナノ粒子を分散させた... [more] | EID2022-7 pp.13-16 |
| IEIJ-SSL, SID-JC (共催) ITE-IDY, EID, IEE-EDD (連催) [詳細] |
2023-01-27 15:25 |
ONLINE | オンライン開催 (Webex) | 六方晶BN薄膜の減圧CVD成長の高温化 ○大石泰己・渡邊泰良・田中佑樹・増田克仁・吉岡 陸・増田希良里・小南裕子・原 和彦（静岡大） EID2022-8 |
BCl₃ と NH₃ を原料とする減圧化学気相法 （CVD） を用いて、c 面サファイア上に六方晶窒化ホウ素 (h-BN... [more] | EID2022-8 pp.17-20 |
| OCS, CS (併催) |
2023-01-12 15:50 |
福岡 | キャナルシティ博多 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
［特別招待講演］高効率電気光学変調器を用いた高速光変調技術の開発 ～ EOポリマーおよび強誘電性薄膜変調器の可能性 ～ ○横山士吉（九大） CS2022-66 |
将来の高速光ネットワークに対応するため光変調デバイスの帯域拡大に向けた課題解決は重要である。これまでにも様々な材料やデバ... [more] | CS2022-66 pp.17-19 |
| EA, US (併催) |
2022-12-22 16:50 |
広島 | サテライトキャンパスひろしま | ［ポスター講演］YbGaNおよびYbAlNエピタキシャル薄膜共振子の特性 ○李 嵩・賈 軍軍・柳谷隆彦（早大） US2022-64 |
AlNやGaN圧電薄膜を用いたバルク弾性波（BAW）共振子は、高い音速と低い機械的損失を持つため、マイクロ波通信用のGH... [more] | US2022-64 pp.74-79 |
| SDM | 2022-11-10 14:00 |
ONLINE | オンライン開催 | ［招待講演］CrSi薄膜の電気特性のモデリング ○園田賢一郎・白石信仁・前川和義・伊藤 望・長谷川英司・緒方 完（ルネサス エレクトロニクス） SDM2022-67 |
アニール時の相変化と結晶粒成長を考慮してCrSi 薄膜の電気抵抗をモデル化した．結晶粒界を含む複数の材料と結晶相からなる... [more] | SDM2022-67 pp.14-18 |
| MRIS, IEE-MAG (連催) |
2022-03-04 13:00 |
愛知 | 名古屋大学+オンライン開催 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
エピタキシャルMn-Al合金薄膜の構造と磁気特性 ○野呂翔太・大竹 充（横浜国大）・磯上慎二（物質・材料研究機構）・二本正昭・川井哲郎（横浜国大）・桐野文良（東京藝術大）・稲葉信幸（山形大） MRIS2021-16 |
Mn-Al合金膜を，Mn組成を50から72 at. %まで，成長温度を室温から500 °Cまで，膜厚を10から100 n... [more] | MRIS2021-16 pp.1-6 |
| OME, IEE-DEI (連催) |
2021-03-01 16:30 |
ONLINE | オンライン開催 | 結晶化した低分子型有機薄膜太陽電池の暗電流のダイオード解析 ○嘉治寿彦・榎戸風花・森 承宇・余語正輝・阿部優樹・片山美樹雅（東京農工大） OME2020-25 |
共蒸発分子誘起結晶化法で結晶化した様々な有機薄膜太陽電池、例えば、超厚膜の低分子型有機薄膜太陽電池や低ドナー濃度型の有機... [more] | OME2020-25 pp.26-27 |
| EID, ITE-IDY, IEE-EDD (連催) IEIJ-SSL, SID-JC (共催) (連催) [詳細] |
2020-01-23 13:05 |
鳥取 | 鳥取大鳥取キャンパス | ［ポスター講演］c面サファイアおよびSi (111)基板上への六方晶BN薄膜のCVD成長 ○名嘉眞朝泰・松下一貴・渡邊泰良・小南裕子・原 和彦（静岡大） |
BCl3とNH3を原料とする減圧化学気相法（CVD）を用いて、c面サファイアおよびSi (111)基板上へ六方晶窒化ホウ... [more] | |
| EID, ITE-IDY, IEE-EDD (連催) IEIJ-SSL, SID-JC (共催) (連催) [詳細] |
2020-01-24 10:55 |
鳥取 | 鳥取大鳥取キャンパス | ［ポスター講演］導電性三元硫化物・酸化物蛍光体薄膜を用いた電流注入型発光素子 ○辻森和樹・古賀峻丞・石垣 雅・大観光徳（鳥取大） EID2019-13 |
本研究では CuAlS_2:Mn及び ZnGa_2O_4:Cr多結晶薄膜を用いた電流注入型発光素子の作製を 検討した 。... [more] | EID2019-13 pp.117-120 |
| CPM | 2019-11-07 15:50 |
福井 | 福井大学 文京キャンパス | ［招待講演］触媒反応支援化学気相成長法を用いた金属酸化物薄膜の成長 ○安井寛治（長岡技科大） CPM2019-48 |
触媒反応を利用して高エネルギーH2O分子を生成、有機金属ガスと気相中で反応させ金属酸化物薄膜を成長させるCVD法の開発と... [more] | CPM2019-48 pp.21-26 |
| CPM | 2019-08-26 15:25 |
北海道 | 北見工業大学 1号館２F A-207講義室 | アントラセンドープZIF-8の作製と半導体特性 ○加島初徳・清水翔太・岡本尚樹・齊藤丈靖（阪府大） CPM2019-41 |
金属有機構造体(Metal Organic Framework: MOF)は金属中心と有機リンカー間に相互作用を有する多... [more] | CPM2019-41 pp.19-22 |
| SDM | 2019-06-21 11:40 |
愛知 | 名古屋大学 VBL３F | 熱処理によるAl/Ge(111)上の極薄Ge層形成 ○小林征登・大田晃生・黒澤昌志・洗平昌晃・田岡紀之・池田弥央・牧原克典・宮﨑誠一（名大） SDM2019-27 |
金属薄膜へのゲルマニウム(Ge)の固溶・偏析を利用してGeの二次元結晶を作成することを目的として、Geと共晶反応を示すA... [more] | SDM2019-27 pp.11-15 |
| ED, THz (共催) |
2018-12-18 11:35 |
宮城 | 東北大・通研 | 新規摩擦誘起成膜法による層状半導体MoS2の結晶成長 ○伊藤孝郁・田邊匡生・小山 裕（東北大） ED2018-67 |
半導体デバイスプロセスにおける半導体結晶の新規成膜技術として、我々は摩擦を活用する簡便なプロセスを提案している。成膜する... [more] | ED2018-67 pp.53-56 |
| US | 2018-05-21 15:45 |
東京 | 機械振興会館 | 周波数スイッチナブルフィルタを目指した常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピ膜音響共振子 ○清水貴博・柳谷隆彦（早大） US2018-16 |
近年，移動体通信機器の周波数バンド数の増加に伴って，フィルタ搭載数が増加している．その解決策の1つとして，1つのフィルタ... [more] | US2018-16 pp.29-34 |
| CPM, ED, EID, SDM, ICD, MRIS, SCE, OME, EMD (共催) QIT (併催) [詳細] |
2018-03-08 16:40 |
静岡 | 東レ総合研修センター | ［招待講演］FePt合金系エピタキシャル薄膜の結晶配向と表面平坦性の制御 ○二本正昭・大竹 充（中大） EMD2017-78 MR2017-49 SCE2017-49 EID2017-51 ED2017-123 CPM2017-143 SDM2017-123 ICD2017-128 OME2017-72 |
高い磁気異方性(Ku)を持つL10-FePt系合金薄膜は、高密度磁気記録媒体への応用に向けて積極的な研究開発が行われてい... [more] | EMD2017-78 MR2017-49 SCE2017-49 EID2017-51 ED2017-123 CPM2017-143 SDM2017-123 ICD2017-128 OME2017-72 pp.31-36 |
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