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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM 2013-12-13
16:20
奈良 奈良先端科学技術大学院大学 誘電体厚膜の形成とプロトンビームによる直接パターニング
渡辺和貴山口正樹西川宏之芝浦工大SDM2013-130
本研究では,非鉛系強誘電体材料の一つであるチタン酸ビスマス(Bi4Ti3O12,BIT)において,ポリビニルピロリドン(... [more] SDM2013-130
pp.85-89
ED 2009-07-31
10:40
大阪 大阪大学(銀杏会館) MEMS技術を用いた次世代ロボット用多軸触覚センサの作製
寒川雅之金島 岳阪大)・山下 馨野田 実京都工繊大/阪大)・奥山雅則阪大)・野間春生ATRED2009-110
エラストマー内に埋め込まれたマイクロカンチレバー構造を用いた圧力と剪断力を同時に計測できる多軸触覚アレイセンサの設計・作... [more] ED2009-110
pp.41-46
MW, ED
(共催)
2005-11-17
09:50
佐賀 佐賀大学 小型カンチレバー型MEMSスイッチの高周波特性
西野 有半谷正毅出尾晋一曽田真之介吉田幸久宮崎守泰三菱電機
シリコン基板に金メッキ技術とニッケルを犠牲層としたマイクロマシニング技術を用い,また,接点を駆動するバイアス電圧を高周波... [more] ED2005-159 MW2005-114
pp.11-14
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