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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
EA, US
(併催)
2023-12-22
15:20
福岡 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 [ポスター講演]厚みすべりモードc軸ジグザグScAlN積層を用いたSMR型圧電トランス
白岩和剛柳谷隆彦早大US2023-64
RF信号はレクテナと呼ばれるアンテナとダイオードを用いてDC信号に変換することができる。しかし、長距離無線通信では、微弱... [more] US2023-64
pp.47-52
EA, US
(併催)
2023-12-22
15:20
福岡 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 [ポスター講演]c軸傾斜Sc0.4Al0.6N薄膜の大面積成膜を目指した矩形カソードによる平行平板スパッタリング
石井直輝島野耀康柳谷隆彦早大US2023-65
Sc濃度が40%を超えるc軸垂直ScAlN薄膜は高い厚み縦モード電気機械結合係数kt2値を持ちBAWフィルタやpMUTへ... [more] US2023-65
pp.53-58
US 2023-11-27
16:10
静岡 静岡大学 圧電層と基板の音響分離を目指した30層分極反転HBAR
白岩和剛柳谷隆彦早大US2023-54
現在普及しているBAW共振子は2種類あり、FBAR(自立薄膜共振子)とSMR(ブラッグ反射器付き共振子)である。これらの... [more] US2023-54
pp.61-66
EA, US
(併催)
2022-12-22
16:50
広島 サテライトキャンパスひろしま [ポスター講演]SiO2遅延層を用いたGHz帯パルスエコー法による音響ブラッグ反射層の機械的通過損失の測定
近藤圭太石井直輝鈴木基嗣早大)・柳谷隆彦早大/JSTUS2022-65
一般的に音響ブラッグ反射器の特性評価には、ブラッグ反射層上に圧電薄膜を形成したSMR構造におけるインピーダンス特性が用い... [more] US2022-65
pp.80-85
US 2022-01-25
11:25
ONLINE オンライン開催 c軸ジグザク分極反転ScAlN薄膜を用いたBAW送受波型トランスバーサルフィルタ
泉 航太柳谷隆彦早大US2021-59
弾性表面波(SAW)の送受波によって駆動するトランスバーサル型フィルタは振幅特性と位相特性の独立制御、フォトリソグラフィ... [more] US2021-59
pp.5-10
US 2020-09-28
14:25
ONLINE オンライン開催 レクテナ昇圧素子に向けた傾斜反転ScAlN圧電薄膜トランス
木下紗里那早大/材研)・柳谷隆彦早大/材研/JST CRESTUS2020-35
無数の小型センサを散りばめるIoT社会には半永久的にワイヤレスで電源の供給をする技術が求められる。電波のエネルギーハーベ... [more] US2020-35
pp.45-50
US 2018-11-02
15:20
愛知 愛知工業大学 石英ガラス管全面へのc軸平行配向ZnO薄膜の成膜
篁 佑太同志社大)・高柳真司名工大)・松川真美同志社大)・柳谷隆彦早大US2018-68
弾性波の一つであるSH型SAWは,液体へのエネルギー漏洩が少なく,液体の粘度や導電率,誘電率を測定可能である.一方,高感... [more] US2018-68
pp.25-30
CPM, ED, EID, SDM, ICD, MRIS, SCE, OME, EMD
(共催)
QIT
(併催) [詳細]
2018-03-08
16:40
静岡 東レ総合研修センター [招待講演]FePt合金系エピタキシャル薄膜の結晶配向と表面平坦性の制御
二本正昭大竹 充中大EMD2017-78 MR2017-49 SCE2017-49 EID2017-51 ED2017-123 CPM2017-143 SDM2017-123 ICD2017-128 OME2017-72
高い磁気異方性(Ku)を持つL10-FePt系合金薄膜は、高密度磁気記録媒体への応用に向けて積極的な研究開発が行われてい... [more] EMD2017-78 MR2017-49 SCE2017-49 EID2017-51 ED2017-123 CPM2017-143 SDM2017-123 ICD2017-128 OME2017-72
pp.31-36
MRIS, ITE-MMS
(連催)
2016-06-09
13:25
宮城 東北大学 Compositional dependence of Cr100-xTix texture-inducing layer underlying (002) textured bcc-Cr alloy seed layer for FePt-C based heat-assisted magnetic recording media
Seong-Jae JeonShintaro HinataShin SaitoTohoku Univ.MR2016-2
 [more] MR2016-2
pp.5-9
US 2015-09-03
14:30
北海道 第一滝本館
(北海道登別)
c軸平行配向ZnO膜/円管石英構造におけるSH波の多重周回伝搬特性と導電率測定への応用
日山彰子同志社大)・柳谷隆彦早大)・高柳真司松川真美同志社大US2015-49
SH波は液体中に音波を漏洩せずに伝搬するため,導電率や粘度などが測定可能である.これまでに我々は,c軸平行配向ZnO膜を... [more] US2015-49
pp.19-24
US 2015-09-03
15:20
北海道 第一滝本館
(北海道登別)
低圧RFマグネトロンスパッタ法によるc軸平行配向ZnO膜の形成とSAW、Lamb波デバイスへの応用
高柳真司同志社大)・柳谷隆彦早大)・Jean-Claude GerbedoenAbdelkrim TalbiIEMN)・松川真美同志社大)・Philippe PernodIEMNUS2015-50
ZnO薄膜はSAWフィルタなど様々な圧電デバイスに応用されてきたが,その多くは(0001)面に優先配向を持つ.一方,(1... [more] US2015-50
pp.25-30
US 2015-09-03
15:50
北海道 第一滝本館
(北海道登別)
イオンビームアシストRFマグネトロンスパッタ法を用いて作製したc軸平行配向ScAlN薄膜の電気機械結合係数
岡 峰生高柳真司同志社大)・柳谷隆彦早大)・松川真美同志社大US2015-51
近年,Scを43%ドープしたAlN薄膜の圧電定数d33が5倍に増加すると報告された.我々は,これまでにc軸垂直配向ScA... [more] US2015-51
pp.31-35
US 2011-09-26
15:50
宮城 東北大学 工学部 電子情報システム・応物系 南講義棟103会議室 c軸平行配向ZnO膜/非晶質基板上を伝搬するSH-SAWの電気機械結合係数
中東佑太同志社大)・柳谷隆彦名工大)・松川真美渡辺好章同志社大US2011-50
横波型弾性表面波(SH型SAW)は液体中に音波を漏洩せずに伝搬するため,液体の導電率や粘性を測定できる.c軸が基板面に対... [more] US2011-50
pp.23-26
US 2011-09-27
09:25
宮城 東北大学 工学部 電子情報システム・応物系 南講義棟103会議室 IBAD法を用いたc軸平行配向AlN薄膜の作製および極性反転すべり共振子への応用
鈴木雅視菅沼信広柳谷隆彦名工大US2011-54
イオンビームアシスト成膜法(IBAD法)を用いてc軸が平行に配向したAlN薄膜の作製を試みた.3 kVで加速されたN2/... [more] US2011-54
pp.43-48
US 2010-09-30
10:50
宮城 東北大学 工学部 電子情報システム・応物系 南講義棟103会議室 RFバイアススパッタ法によるc軸平行配向ZnO薄膜の形成 ~ バイアス周波数が配向性に及ぼす影響 ~
高柳真司同志社大)・柳谷隆彦名工大)・松川真美渡辺好章同志社大US2010-62
c軸が基板面と平行かつ一方向に配向した((11-20)面,(10-10) 面配向)ZnO薄膜を用いた共振子は横波を励振す... [more] US2010-62
pp.75-80
US 2009-09-30
09:00
北海道 祝いの宿 登別グランドホテル 会議室 c軸傾斜反転配向ZnO多層膜の作製と横波共振子への応用
守里直希高柳真司同志社大)・柳谷隆彦名工大)・松川真美渡辺好章同志社大US2009-47
本研究では,これまでに電界方向に対してc軸が23°傾いたZnO膜の作製に成功している.この薄膜を用いてc軸の傾斜方向を交... [more] US2009-47
pp.53-58
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