研究会 |
発表日時 |
開催地 |
タイトル・著者 |
抄録 |
資料番号 |
SIS |
2024-03-14 16:00 |
神奈川 |
神奈川工科大学 (ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催) |
[招待講演]異種材料集積シリコンフォトニクスデバイスの研究動向 ○中津原克己・端山喜紀(神奈川工科大) SIS2023-53 |
シリコンフォトニクスは電子回路の技術をベースとし,光回路の小型化,省エネルギー化,低コスト化,ならびに光電子融合を可能に... [more] |
SIS2023-53 pp.45-48 |
CPM |
2024-02-29 11:00 |
山形 |
山形大学工学部 (ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催) |
酸化亜鉛薄膜トランジスタを用いた水素分圧評価 ○大塚魁人・三浦正範・有馬ボシールアハンマド・廣瀬文彦(山形大) CPM2023-100 |
水素は環境にやさしいクリーンなエネルギー源として期待されているが、可燃性及び爆発性があるので水素の漏洩を瞬時に検知可能な... [more] |
CPM2023-100 pp.15-18 |
CPM |
2024-02-29 11:15 |
山形 |
山形大学工学部 (ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催) |
酸化亜鉛薄膜トランジスタを用いたアルコール分子の検出 ○野口竜之介・三浦正範・有馬ボシールアハンマド・廣瀬文彦(山形大) CPM2023-101 |
近年、室温動作で低コスト、高感度で選択性のあるVOCを検出するためのガスセンサーの開発に焦点を当てた研究が盛んに行われて... [more] |
CPM2023-101 pp.19-22 |
VLD, HWS, ICD (共催) |
2024-02-29 15:30 |
沖縄 |
沖縄県男女共同参画センター【てぃるる】会議室1・2・3 (ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催) |
[記念講演]絶縁膜ReRAMを用いる高信頼かつ製造時複製可能な有機薄膜トランジスタPUFの実現 ○大島國弘(京大)・栗原一徳(産総研)・佐藤高史(京大) VLD2023-116 HWS2023-76 ICD2023-105 |
有機薄膜トランジスタ( OTFT )はセンサ回路等における応用が期待されているが,こうしたシステムではセキュリティが重要... [more] |
VLD2023-116 HWS2023-76 ICD2023-105 p.98 |
ED, MW (共催) |
2024-01-25 15:30 |
東京 |
機械振興会館 (ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催) |
EID AlGaN/GaN MOS-HEMTにおけるAl2O3ゲート酸化膜直下の電子状態解析 ○南條拓真・清井 明・今澤貴史・古橋壮之・西川和康(三菱電機)・江川孝志(名工大) ED2023-68 MW2023-160 |
ノーマリオフ動作するプレーナ型のExtrinsically Electron Induced by Dielectric... [more] |
ED2023-68 MW2023-160 pp.11-14 |
EA, US (併催) |
2023-12-22 13:00 |
福岡 |
九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 |
[ポスター講演]エピタキシャルZnO犠牲層を用いたc軸傾斜エピタキシャルScAlN自立薄膜共振子 ○小林 栞・柳谷隆彦(早大) US2023-59 |
液体中で使用する薄膜共振子型センサやSH-SAWセンサのS/N比を向上するには高い擬似すべりモードの電気機械結合係数k´... [more] |
US2023-59 pp.18-23 |
EA, US (併催) |
2023-12-22 15:20 |
福岡 |
九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 |
[ポスター講演]c軸傾斜Sc0.4Al0.6N薄膜の大面積成膜を目指した矩形カソードによる平行平板スパッタリング ○石井直輝・島野耀康・柳谷隆彦(早大) US2023-65 |
Sc濃度が40%を超えるc軸垂直ScAlN薄膜は高い厚み縦モード電気機械結合係数kt2値を持ちBAWフィルタやpMUTへ... [more] |
US2023-65 pp.53-58 |
US |
2023-11-27 13:45 |
静岡 |
静岡大学 |
c軸平行配向ZnO膜の面内配向性及び圧電性の向上と厚みすべりモード共振子への応用 ~ 基板への粒子照射方向を制限したスパッタ成膜に関する検討 ~ ○冨山直樹・高柳真司(同志社大)・柳谷隆彦(早大) US2023-49 |
c軸が基板に対して平行に揃ったZnO膜は横波を励振でき、厚みすべりモード共振子に適している。この薄膜はRFマグネトロンス... [more] |
US2023-49 pp.34-39 |
US |
2023-11-27 16:35 |
静岡 |
静岡大学 |
エピScAlN圧電薄膜/エピ音響ブラッグ反射器構造のSMR ○渡海 智・柳谷隆彦(早大) US2023-55 |
単結晶圧電薄膜は、多結晶の場合に比べ耐電力性やQ値が高いという特徴を持つ。しかし、SMR (Solidly Mounte... [more] |
US2023-55 pp.67-72 |
MRIS, CPM, OME (共催) ITE-MMS (連催) [詳細] |
2023-10-27 09:00 |
新潟 |
新潟大学(駅南キャンパスときめいと) (ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催) |
[招待講演]二次元ナノ材料としての自己支持性薄膜 ~ ナノとマクロの特性を併せ持つ材料 ~ ○渡邊宏臣(産総研) MRIS2023-14 CPM2023-48 OME2023-35 |
自己支持性超薄膜(ナノ薄膜)は、センチメートル角以上の面積を有しつつ、厚さがナノ厚であることに起因して、「巨視的な取り扱... [more] |
MRIS2023-14 CPM2023-48 OME2023-35 pp.22-24 |
SDM |
2023-10-13 16:00 |
宮城 |
東北大学未来情報産業研究館5F |
強度分布を有するエキシマレーザーアニールによる結晶粒径制御と低温ポリシリコン薄膜トランジスタ特性 ○西田 脩・片山慶太・中村大輔(九大)・後藤哲也(東北大)・池上 浩(高知工科大) SDM2023-58 |
エキシマレーザーアニール(ELA)法で結晶化した低温ポリシリコン(LTPS)薄膜トランジスタ(TFT)は、アモルファスシ... [more] |
SDM2023-58 pp.27-33 |
MIKA (第三種研究会) |
2023-10-10 15:35 |
沖縄 |
沖縄県市町村自治会館 (ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催) |
[ポスター講演]RFフィルタ向けエピタキシャル圧電薄膜多層構造 ○渡海 智・柳谷隆彦(早大) |
スマートフォンに代表される無線通信デバイスには、複数の無線周波数から所望の周波数のみを選択し送受信するための周波数フィル... [more] |
|
LQE, OPE, CPM, EMD, R (共催) |
2023-08-24 14:55 |
宮城 |
東北大学 電気通信研究所本館 オープンセミナールーム(M153) (ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催) |
[招待講演]薄膜LN技術による光変調器デバイスの高速化 ○牧野俊太郎(富士通オプティカルコンポーネンツ) R2023-23 EMD2023-18 CPM2023-28 OPE2023-67 LQE2023-14 |
1 波長当たり800Gbps 以上の伝送容量を実現するため100Gbaud 以上の高速光変調器技術の開発が盛んに行われて... [more] |
R2023-23 EMD2023-18 CPM2023-28 OPE2023-67 LQE2023-14 pp.38-41 |
US |
2023-07-27 16:40 |
福岡 |
西日本総合展示場(新館) |
薄膜を用いた空中超音波の位相制御の実験的検討 ○伊藤洋一(日大) US2023-23 |
.
あらまし 強力空中超音波を利用した応用技術が各種開発され, 多様な分野での利用が急速に高まりつつある. これに... [more] |
US2023-23 pp.28-33 |
EST, MW, EMT, OPE, MWPTHz (共催) IEE-EMT (連催) [詳細] |
2023-07-20 15:15 |
北海道 |
室蘭工業大学 (ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催) |
Brillouin光散乱法によるScAlN薄膜の弾性定数テンソルの測定 ○内田拓希(早大)・市橋隼人(同志社大)・鈴木雅視(山梨大)・高柳真司・松川真美(同志社大)・柳谷隆彦(早大) EMT2023-20 MW2023-38 OPE2023-20 EST2023-20 MWPTHz2023-16 |
Brillouin光散乱法は、膜厚情報に無依存にTime-of-flight を使わずにGHz帯の超音波速度を測定できる... [more] |
EMT2023-20 MW2023-38 OPE2023-20 EST2023-20 MWPTHz2023-16 pp.61-66 |
SDM |
2023-06-26 11:30 |
広島 |
広島大学 ナノデバイス研究所 |
自己組織化単分子膜を用いた極薄SiO2/SiC界面特性の評価 ○奥平 諒(関西学院大)・川那子高暢(東工大)・細井卓治(関西学院大) SDM2023-29 |
オクタデシルホスホン酸(ODPA: octadecylphosphonic acid)の自己組織化単分子膜(SAM: s... [more] |
SDM2023-29 pp.7-10 |
US |
2023-05-18 11:00 |
東京 |
日本大学 駿河台キャンパス |
PVDCフィルムを透過した空中超音波の音波放射特性 ○宮坂優佑・清水鏡介・大隅 歩・伊藤洋一(日大) US2023-1 |
空中超音波を放射するための種々の空中超音波音源や超音波エミッタが開発されている.一般的にこれらのデバイスから放射される音... [more] |
US2023-1 pp.1-6 |
SDM, OME (共催) |
2023-04-22 09:40 |
沖縄 |
沖縄県青年会館 (ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催) |
絶縁膜上におけるSn添加Ge薄膜の固相成長とTFT応用 古賀泰志郎・永野貴弥・茂藤健太・山本圭介・○佐道泰造(九大) SDM2023-7 OME2023-7 |
高性能システムインディスプレイの実現には,高速薄膜トランジスタ(TFT)の創出が必須である.このためSiより高いキャリア... [more] |
SDM2023-7 OME2023-7 pp.27-29 |
SDM, OME (共催) |
2023-04-22 13:35 |
沖縄 |
沖縄県青年会館 (ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催) |
[招待講演]エキシマレーザアニールによるSi薄膜の結晶化技術 ~ 温故知新になる事を期待して ~ ○栗山博之(高砂熱学) SDM2023-13 OME2023-13 |
エキシマレーザによるSi薄膜の結晶化技術はスマートフォン等に用いられている低温ポリシリコン(LTPS)液晶ディスプレイの... [more] |
SDM2023-13 OME2023-13 pp.48-51 |
IEIJ-SSL, SID-JC (共催) ITE-IDY, EID, IEE-EDD (連催) [詳細] |
2023-01-27 14:45 |
ONLINE |
オンライン開催 (Webex) |
ZnGa2O4:Cr3+遠赤色蛍光体薄膜のポストアニールによる導電性向上の検討 ○谷口明輝・蓬莱良太・山崎彰久・大観光徳(鳥取大) EID2022-6 |
電子線蒸着法により成膜したZnGa2O4:Cr3+薄膜にラピッドサーマルアニール(RTA)を施した。N2+H2雰囲気下、... [more] |
EID2022-6 pp.9-12 |