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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| LQE, CPM, ED (共催) |
2017-11-30 15:25 |
愛知 | 名古屋工業大学 | -c面GaN基板上のGaNのMOVPE成長における酸素低減の研究 ○河野 司・久志本真希・永松謙太郎・新田州吾・本田善央・天野 浩（名大）  ED2017-53 CPM2017-96 LQE2017-66 |
MOVPE成長による-c面GaN基板上のGaNは、＋c面GaN基板上のGaNに比べ、電子を補償する炭素の取り込み量が少な... [more] | ED2017-53 CPM2017-96 LQE2017-66 pp.19-22 |
| OME, EMD, CPM (共催) |
2014-06-20 14:20 |
東京 | 機械振興会館 | 触媒反応生成高エネルギーH2Oを用いてサファイア基板上に堆積した窒素ドープZnO薄膜の成長 ○大橋優樹・叶内慎吾・山口直也・玉山泰宏・加藤孝弘・安井寛治（長岡技科大） EMD2014-17 CPM2014-37 OME2014-25 |
白金ナノ粒子表面での水素と酸素の自己発熱反応を利用して高エネルギーH2Oを生成し、気相中でアルキル亜鉛ガスと衝突させ高エ... [more] | EMD2014-17 CPM2014-37 OME2014-25 pp.49-53 |
| OME | 2012-10-17 14:20 |
東京 | 機械振興会館 B1F 3号室 | 有機物・ポリマーのための質量顕微鏡の開発 ○坂本哲夫（工学院大） OME2012-49 |
近年有機デバイスの開発が進んでいるが、多くは多層膜・パターニング等の微小構造によりその機能を発現している。成膜の良否、混... [more] | OME2012-49 pp.21-25 |
| SDM | 2011-02-07 15:25 |
東京 | 機械振興会館 | 3次元積層技術における低温バンプレスTSVプロセス ○北田秀樹・前田展秀（東大）・藤本興治（大日本印刷）・水島賢子・中田義弘・中村友二（富士通研）・大場隆之（東大） SDM2010-224 |
低温プラズマCVDを用いたCu貫通ビア(TSV)製造のCu拡散の挙動を評価した。成膜温度が150℃の低温-PECVD法で... [more] | SDM2010-224 pp.49-53 |
| ED | 2010-10-25 13:50 |
京都 | 宇治おうばくプラザ(京都大学） | 窒素添加ダイヤモンドからの電子放出特性とC-N結合の関係 ○工藤唯義（筑波大/国際基督教大）・増澤智昭・佐藤祐介（国際基督教大）・齋藤市太郎（国際基督教大/ケンブリッジ大）・山田貴壽（産総研）・Angel Koh・Daniel Chua（シンガポール国立大）・吉野輝雄・田 旺帝（国際基督教大）・山崎 聡（筑波大/産総研）・岡野 健（国際基督教大） ED2010-130 |
尿素，ジメチル尿素という２種類の不純物源を用いて合成した窒素添加ダイヤモンドについて，飛行時間二次イオン質量分析(TOF... [more] | ED2010-130 pp.11-15 |
| SDM | 2010-10-21 17:40 |
宮城 | 東北大学 | 薄膜アモルファスシリコンの低温結晶化 ○岩鍜治陽子・広田 潤・矢吹 宗・石田浩一・金子和香奈・水島一郎・赤堀浩史（東芝） SDM2010-158 |
センサー、太陽電池、液晶など様々な製品にポリシリコンが多用されている。近年、それらデバイスに対し薄膜ポリシリコン層を用い... [more] | SDM2010-158 pp.31-34 |
| SDM | 2009-10-30 13:00 |
宮城 | 東北大学 | SiO2膜におけるRIEダメージの修復 ○川田宣仁・永嶋賢史・市川 徹・赤堀浩史（東芝） SDM2009-129 |
MOSデバイスの微細化が進むにつれてゲート加工によるRIE（Reactive Ion Etching）ダメージの影響がよ... [more] | SDM2009-129 pp.51-56 |
| SDM | 2008-10-10 15:45 |
宮城 | 東北大学 | シリコン酸化膜中に取り込まれたドーパントの影響 ○永嶋賢史・赤堀浩史（東芝） SDM2008-166 |
一般的なメモリやCMOSプロセスにおいては、拡散層やゲート電極にリンやボロン、砒素等の不純物をドープしたシリコン材料が用... [more] | SDM2008-166 pp.63-68 |
| CPM, ED, SDM (共催) |
2008-05-16 11:15 |
愛知 | 名古屋工業大学 | Si基板上減圧MOCVD成長AlxGa1-xNの諸特性 ○広森公一・石川博康・十倉史行・嶋中啓太・森 直人・森本智彦（名工大） ED2008-14 CPM2008-22 SDM2008-34 |
Si基板上減圧MOCVD成長AlxGa1-xNについて、諸特性のリアクタ圧力依存性を調べた。成長圧力が高くなるに従いAl... [more] | ED2008-14 CPM2008-22 SDM2008-34 pp.67-70 |
| SDM | 2007-10-05 15:25 |
宮城 | 東北大学 | LSAとSpike-RTAの組合せによる極浅接合形成技術 ○遠藤誠一・丸山祥輝・川崎洋司・山下朋弘・尾田秀一・井上靖朗（ルネサステクノロジ） SDM2007-191 |
本報告では、複数のspike-RTAとLSAの組み合わせに対するBF2 source/drain-extention(S... [more] | SDM2007-191 pp.61-64 |
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