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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| VLD, HWS, ICD (共催) |
2024-02-28 16:45 |
沖縄 | 沖縄県男女共同参画センター【てぃるる】会議室１・２・３ （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
Spacer-Is-Metal型側壁ダブルパターニングの配線手法の研究 ○田中洸樹・甘利拓斗・藤吉邦洋（東京農工大）  VLD2023-105 HWS2023-65 ICD2023-94 |
露光可能なピッチ幅の半分のピッチ幅の配線を製造する技術の1つであるSIM型側壁ダブルパターニングは，幅一定の環状の領域か... [more] | VLD2023-105 HWS2023-65 ICD2023-94 pp.36-41 |
| HWS, VLD (共催) |
2019-02-27 13:30 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | SIM型SADPのための環状の配線経路を求める拡大手法 ○赤塚 駿・藤吉邦洋（東京農工大） VLD2018-98 HWS2018-61 |
高密度なLSI製造のために、光リソグラフィの露光限界を超えて微細な加工を行う技術として用いられるダブルパターニングの種類... [more] | VLD2018-98 HWS2018-61 pp.31-36 |
| CAS, SIP, MSS, VLD (共催) |
2018-06-15 15:25 |
北海道 | 北海道大学フロンティア応用科学研究棟 | SIM型SADPのための環状の配線経路を求める手法 ○赤塚 駿・藤吉邦洋（東京農工大） CAS2018-30 VLD2018-33 SIP2018-50 MSS2018-30 |
高密度なLSI製造のために、光リソグラフィの露光限界を超えて微細な加工を行う技術として用いられるダブルパターニングの種類... [more] | CAS2018-30 VLD2018-33 SIP2018-50 MSS2018-30 pp.155-160 |
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