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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
VLD 2016-03-02
10:30
沖縄 沖縄県青年会館 Self-Aligned Quadruple Patterningのための3色グリッド上の異色ネットを考慮した配線手法
本江俊幸高橋篤司東工大VLD2015-135
Self-Aligned Quadruple Patterning(SAQP)は半導体の微細化限界を超える為の有望な技術... [more] VLD2015-135
pp.137-142
VLD, DC, IPSJ-SLDM
(連催)
ICD, CPM
(共催)
CPSY, RECONF
(併催) [詳細]
2015-12-02
17:10
長崎 長崎県勤労福祉会館 Self-Aligned Quadruple Patterningのための3次配線アルゴリズムを用いた効率的な配線生成手法
井原岳志高橋篤司東工大VLD2015-53 DC2015-49
Self-Aligned Quadruple Patterning(SAQP)は14nmノードにおける重要な製造技術であ... [more] VLD2015-53 DC2015-49
pp.93-98
VLD, IPSJ-SLDM
(連催)
2015-05-14
10:05
福岡 北九州国際会議場 折れ曲がり制約を含む配線問題のNP完全性
本江俊幸高橋篤司東工大VLD2015-3
次世代リソグラフィ技術の一つである側壁プロセスを2回用いるSAQP(Self-Aligned Quadruple Pat... [more] VLD2015-3
pp.13-18
VLD 2014-03-04
14:40
沖縄 沖縄県青年会館 超微細化を実現する側壁ダブル・クアドラプルパターニングのための3色グリッド配線手法
児玉親亮東芝)・市川裕隆東芝マイクロエレクトロニクス)・中嶌史晴中山幸一野嶋茂樹小谷敏也東芝VLD2013-151
光リソグラフィの延命技術とよばれ,次世代リソグラフィ技術の実用化までの「つなぎ」のような存在であったダブルパターニング技... [more] VLD2013-151
pp.99-104
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