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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| CPM | 2012-10-26 14:15 |
新潟 | まちなかキャンパス長岡 | スパッタ法によるAZO薄膜の抵抗率の検討 ○名越克仁・富口祐輔・清水英彦・岩野春男・川上貴浩・福嶋康夫・永田向太郎・坪井 望・野本隆宏（新潟大）  CPM2012-95 |
本研究では，市販ターゲットを用い，低電圧でのスパッタが可能なRF-DC結合形スパッタ法による膜堆積時の基板温度変化や堆積... [more] | CPM2012-95 pp.13-16 |
| CPM | 2011-10-26 13:50 |
福井 | 福井大学 産学官連携本部研修室 | RF-DC結合形スパッタ法による室温成膜AZO薄膜の特性 ○樫出 淳・名越克仁・富口祐輔・清水英彦・岩野春男・川上貴浩・永田向太郎・福嶋康夫・坪井 望・野本隆宏（新潟大） CPM2011-111 |
本研究では，低電圧でのスパッタが可能なRF-DC結合形スパッタ法（低電圧スパッタ法）に注目し，この方法により室温にてAZ... [more] | CPM2011-111 pp.11-15 |
| EMD, CPM, OME (共催) |
2011-06-30 16:55 |
東京 | 機械振興会館 | 低電圧スパッタ法を用いた室温成膜AZO薄膜の特性 ○樫出 淳・名越克仁・清水英彦・岩野春男・川上貴浩・永田向太郎・福嶋康夫・坪井 望・野本隆宏（新潟大） EMD2011-18 CPM2011-54 OME2011-32 |
本研究では，低電圧でのスパッタが可能なRF-DC結合形スパッタ法と，ターゲットの焼結温度に注目し，高エネルギー粒子が膜に... [more] | EMD2011-18 CPM2011-54 OME2011-32 pp.59-63 |
| CPM | 2008-10-31 09:50 |
新潟 | 新潟大学 | Arイオン衝撃によるITO薄膜への効果の検討 ○高橋沙季・二木雅斗・中村陽平・清水英彦・岩野春男・福嶋康夫・永田向太郎（新潟大）・星 陽一（東京工芸大） CPM2008-84 |
本研究では，RF-DC結合形スパッタ法に，基板バイアススパッタ法を組み合わせる方法を用いて，低温でITO膜を結晶化させる... [more] | CPM2008-84 pp.53-58 |
| CPM | 2007-08-09 16:10 |
山形 | 山形大学 | 基板バイアススパッタ法によるITO薄膜の検討（II） ○梅津 岳・中田悠介・清水英彦・丸山武男・岩野春男（新潟大）・星 陽一（東京工芸大） CPM2007-42 |
本研究では，高エネルギー粒子を抑制できるRF-DC結合形スパッタ法に，基板バイアススパッタ法を組み合わせる方法を用いて，... [more] | CPM2007-42 pp.33-38 |
| CPM | 2005-11-12 12:35 |
福井 | 福井大学 | 低電圧スパッタ法によるYBCO薄膜の作製及び評価 ○岡田好正・清水英彦・森 貴志・岩野春男・川上貴浩（新潟大）・星 陽一（東京工芸大）・丸山武男（新潟大） |
本研究では，プラズマスパッタ法を用いて容易にYBCO薄膜の作製を実現できるようにするための基礎研究として，RF-DC結合... [more] | CPM2005-169 pp.39-42 |
| CPM | 2005-11-12 13:00 |
福井 | 福井大学 | 有機EL素子用ITO薄膜の作製と検討 ○槻尾浩一・竹内正樹・森下和哉・清水英彦・丸山武男・川上貴浩（新潟大）・星 陽一（東京工芸大） |
透明有機EL素子用のITO薄膜の低温作製を検討するために，RF-DC結合型スパッタ法を用いてITO薄膜を作製した。その結... [more] | CPM2005-170 pp.43-48 |
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