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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| SDM | 2011-07-04 16:20 |
愛知 | 名古屋大学（ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー） | RFスパッタ形成したSi酸化膜を用いたMIMキャパシタの抵抗変化特性 ○大田晃生・後藤優太・西垣慎吾・Guobin Wei・村上秀樹・東 清一郎（広島大）・宮崎誠一（名大）  SDM2011-67 |
RFスパッタにより形成したSiOx (厚さ：8~40nm)をPt電極で挟んだMIMキャパシタにおいて、電圧掃引による電流... [more] | SDM2011-67 pp.97-102 |
| EMD | 2009-12-18 14:55 |
千葉 | 千葉工業大学 津田沼キャンパス | 金属－カーボン系薄膜の電気的・機械的性質 ○松本 宏・鎌田智之・梅村 茂（千葉工大）・矢部光範（日本自動車大）・廣野 滋（MESアフティ）・丹羽 修（産総研）・刀 東風（西安交通大） EMD2009-110 |
金属ドープカーボン薄膜の成膜条件とその基礎的特性の関係を明らかにする一環として，RFスパッタ法によって成膜したNiドープ... [more] | EMD2009-110 pp.21-24 |
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