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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
MWP, EMT, PN, LQE, OPE, EST
(共催)
IEE-EMT
(連催) [詳細]
2014-01-24
09:25
京都 同志社大学(烏丸キャンパス) プロトンビーム描画による導波路型光スイッチの試作
三浦健太群馬大)・佐藤隆博石井保行江夏昌志横山彰人神谷富裕原子力機構)・平谷雄二広島国際大)・桐生弘武小澤優介加田 渉花泉 修群馬大PN2013-85 OPE2013-199 LQE2013-185 EST2013-134 MWP2013-105
量子ビーム技術を利用したプロトンビーム描画(Proton Beam Writing: PBW)は,次世代微細加工技術とし... [more] PN2013-85 OPE2013-199 LQE2013-185 EST2013-134 MWP2013-105
pp.317-320
SDM 2013-12-13
16:20
奈良 奈良先端科学技術大学院大学 誘電体厚膜の形成とプロトンビームによる直接パターニング
渡辺和貴山口正樹西川宏之芝浦工大SDM2013-130
本研究では,非鉛系強誘電体材料の一つであるチタン酸ビスマス(Bi4Ti3O12,BIT)において,ポリビニルピロリドン(... [more] SDM2013-130
pp.85-89
OPE 2010-12-17
15:10
東京 機械振興会館地下3階2号室 プロトンビーム描画による光導波路デバイス形成の基礎検討
三浦健太群馬大)・佐藤隆博江夏昌志石井保行高野勝昌大久保 猛加田 渉山崎明義横山彰人神谷富裕原子力機構)・上原政人桐生弘武佐々木友之花泉 修群馬大)・西川宏之芝浦工大OPE2010-136
プロトンビーム描画(Proton Beam Writing: PBW)は,次世代の微細加工技術として注目されているが,P... [more] OPE2010-136
pp.27-30
OPE 2009-12-18
14:50
東京 機械振興会館 プロトンビーム描画による波長1.5μm帯用シングルモードPMMA導波路
三浦健太・○町田裕貴上原政人花泉 修群馬大)・石井保行佐藤隆博高野勝昌大久保 猛山崎明義井上愛知江夏昌志横山彰人神谷富裕小嶋拓治原子力機構)・西川宏之芝浦工大OPE2009-165
プロトンビーム描画は,次世代の微細加工技術として注目されているが,PMMAへのプロトン照射による屈折率向上効果を利用する... [more] OPE2009-165
pp.25-28
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