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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM 2009-06-19
16:20
東京 東京大学(生産研An棟) Pr(EtCp)3を用いた原子層堆積法によるPr酸化膜の形成
近藤博基古田和也松井裕高坂下満男財満鎭明名大
Pr(EtCp)3を用いた原子層堆積法(ALD)によるPr酸化膜の成長手法について研究を行い,ウェハー面内での膜厚ばらつ... [more] SDM2009-41
pp.81-85
SDM 2008-06-10
13:10
東京 東京大学(生産研 An棟) MOCVD法によるPr酸化膜の作製およびその電気的特性評価
近藤博基櫻井晋也名大)・酒井 朗阪大)・小川正毅財満鎭明名大
バブリングによる原料供給が可能なシクロペンタジエニル錯体(Pr(EtCp)3)を用いた有機金属化学気相蒸着(MOCVD)... [more] SDM2008-54
pp.71-75
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