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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
CPM 2019-11-07
15:00
福井 福井大学 文京キャンパス 窒素を添加したDLC膜特性へのアニール効果
長内公哉中村和樹郡山春人小林康之遠田義晴鈴木裕史弘前大)・末光眞希東北大)・中澤日出樹弘前大CPM2019-46
希釈ガスにH2を用いたプラズマ化学気相成長法により窒素を添加したダイヤモンドライクカーボン(N-DLC)膜を作製し、真空... [more] CPM2019-46
pp.9-14
CPM, IEE-MAG
(連催)
2018-11-02
14:25
新潟 まちなかキャンパス長岡 ケイ素及び窒素を添加したDLC薄膜の熱的安定性
中澤日出樹中村和樹長内公哉郡山春人小林康之遠田義晴鈴木裕史弘前大)・末光眞希東北大CPM2018-52
希釈ガスにH_(2)を用いたプラズマ化学気相成長法により作製したケイ素及び窒素を添加したダイヤモンドライクカーボン(Si... [more] CPM2018-52
pp.99-104
CPM 2010-10-28
17:05
長野 信州大学 工学部 地域共同研究センター3階研修室 FTS法にUBMS法を組み合わせた方法によるSrAl2O4:Eu, Dy薄膜の作製
久野敬史齋藤 稔小林和晃清水英彦岩野春男川上貴浩福嶋康夫永田向太郎新潟大CPM2010-97
本研究では,通常の対向ターゲット式スパッタ(FTS)法及びFTS法にアンバランスドマグネトロンスパッタ(UBMS)法を組... [more] CPM2010-97
pp.33-37
CPM 2008-10-31
09:00
新潟 新潟大学 Al下地膜上へのSrAl2O4薄膜の剥離抑制の検討
張 鋒纐纈正和清水英彦岩野春男川上貴浩新潟大CPM2008-82
本研究では,Al薄膜の上にSrAl2O4薄膜をスパッタ堆積した後,熱処理を行う方法によるアSrAl2O4薄膜の剥離や亀裂... [more] CPM2008-82
pp.41-46
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