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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| SDM | 2021-11-11 15:15 |
ONLINE | オンライン開催 | ［招待講演］プラズマからのイオン衝撃により形成される欠陥構造の解析技術 ○江利口浩二（京大）  SDM2021-57 |
電子デバイス製造においてプラズマプロセスは重要な役割を担っている．プラズマエッチングでは，イオン照射と表面反応最適化によ... [more] | SDM2021-57 pp.23-28 |
| SDM | 2021-01-28 15:35 |
ONLINE | オンライン開催 | ［招待講演］プラズマ曝露中に確率的ラテラル散乱によって導入されるシリコン中の欠陥が超低リーク電流デバイスに与える影響の評価 ○佐藤好弘・山田隆善・西村佳壽子・山崎雅之・村上雅史（パナソニック）・占部継一郎・江利口浩二（京大） SDM2020-53 |
イメージセンサに代表される超低リーク電流デバイスを設計する上で，極微少量欠陥の存在および分布がデバイス特性に及ぼす影響を... [more] | SDM2020-53 pp.17-20 |
| OME | 2017-12-01 09:20 |
佐賀 | サンメッセ鳥栖 | プラズマ融合CMPによる大型ダイヤモンド基板の高効率加工とその加工メカニズム ○武田秀俊（並木精密宝石）・土肥俊郎（九大）・金 聖祐（並木精密宝石）・會田英雄（長岡技科大）・白谷正治（九大） OME2017-35 |
次世代半導体材料として知られるSiC，GaN，ダイヤモンドは，同時にCMP工程における超難加工材料としても知られている．... [more] | OME2017-35 pp.1-6 |
| OME | 2013-12-17 14:25 |
東京 | 機械振興会館 | 低電圧ソリューションプラズマ法を用いた白金ナノ粒子の調製 ○加藤拓海・西川太二・城石英伸（東京高専）・中島達朗・松田直樹（産総研） OME2013-80 |
低電圧・低周波数ソリューションプラズマ法(SPP-LVLF)は，簡便で消費電力が低いため，固体高分子形燃料電池の触媒とし... [more] | OME2013-80 pp.17-20 |
| SAT, SANE (併催) |
2010-02-26 09:40 |
東京 | NICT本部 | 水星探査衛星MMO搭載プラズマ波動観測器の機上処理ソフトウェアの開発 ○寺尾康宏・笠原禎也（金沢大）・笠羽康正（東北大）・井町智彦・後藤由貴（金沢大）・小嶋浩嗣（京大） SANE2009-162 |
BepiColombo計画は2機の科学衛星で構成される日欧共同の水星探査プロジェクトで、MMO衛星は水星磁気圏観測を主目... [more] | SANE2009-162 pp.19-23 |
| SAT, SANE (併催) |
2010-02-26 10:00 |
東京 | NICT本部 | 編隊飛行衛星による連携観測模擬実験システムの開発 ○竹中 悟・笠原禎也（金沢大）・小嶋浩嗣（京大）・井町智彦（金沢大） SANE2009-163 |
親衛星と複数の子衛星からなる編隊飛行衛星による高度連携観測を実現するため，LANで結んだ複数のPCで親子間通信ならびに機... [more] | SANE2009-163 pp.25-28 |
| OPE, EMT, MW (共催) |
2009-07-30 13:00 |
北海道 | 旭川市民文化会館 | マイクロ波励起表面波プラズマ半導体処理装置におけるマイクロ波とプラズマの自己無撞着解析に関する検討 ○西川崇之（室蘭工大）・畑口雅人・松岡俊佑（旭川高専）・川口秀樹・鏡 愼（室蘭工大） MW2009-50 OPE2009-50 |
マイクロ波励起表面波プラズマ半導体処理装置におけるプラズマが形成される現象を把握すべく，プラズマ中のマイクロ波と電子密度... [more] | MW2009-50 OPE2009-50 pp.111-114 |
| CPM | 2008-08-04 14:00 |
北海道 | 室蘭工業大学 | 表面波プラズマ装置の開発と半導体プロセスへの応用 ○福田 永（室蘭工大）・古川雅一（アリエース・リサーチ） CPM2008-41 |
本研究は、高密度表面波プラズマ装置の開発と次世代半導体プロセスへの応用を目的としている。今回、300℃以下の低温領域でシ... [more] | CPM2008-41 pp.1-4 |
| R | 2007-09-14 10:30 |
高知 | 高知工科大学 | SEM中マイクロプラズマによる材料プロセス 大井秀宣・岡崎康朗・高橋那欣・○八田章光（高知工科大） R2007-29 |
走査型電子顕微鏡の低真空モードを用いて、試料近傍にマイクロサイズのガスノズルから局所的なガス供給を行ない、マイクロプラズ... [more] | R2007-29 pp.1-4 |
| MW, OPE, EMT (共催) [詳細] |
2006-07-28 09:45 |
北海道 | 北見工大 | マイクロ波励起表面波プラズマ半導体処理装置のFDTD法解析 ○三芦大樹・川口秀樹・古川雅一（室蘭工大） |
半導体素子製造の新しい方法であるマイクロ波励起表面波プラズマプロセスでは、印加されるマイクロ波とプラズマの生成、性質につ... [more] | MW2006-67 OPE2006-59 pp.175-180 |
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