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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SCE 2022-01-21
13:35
ONLINE オンライン開催 [招待講演]10 kA/cm2 Nb 平坦化プロセスを用いた断熱量子磁束パラメトロン回路の歩留まり評価
山栄大樹横浜国大/学振)・竹内尚輝吉川信行横浜国大SCE2021-12
断熱量子磁束パラメトロン(AQFP)は断熱スイッチによって低スイッチングエネルギーで動作可能な超伝導回路である.本研究で... [more] SCE2021-12
pp.1-5
SDM 2017-10-25
14:00
宮城 東北大学未来研 [招待講演]段差ゼロの平坦化技術: CMP前のPMD体積調整
掛川智康二瀬卓也サンディスクSDM2017-50
本平坦化技術では, コンタクト開孔露光前のPMD段差ゼロを試みた. 孔の微細化が進むに連れて従来のチップ内のPMD段差 ... [more] SDM2017-50
pp.1-7
SCE 2014-01-24
15:55
東京 機械振興会館地下3階2号室 超伝導量子ビット集積化に向けた積層型微小接合作製プロセス
前澤正明佐藤哲朗埜口良二山岸雅司日高睦夫堀川 剛産総研SCE2013-57
実用的規模の量子計算機の実現を目指して,超伝導量子ビットのスケーラブルな集積化を可能とする微小ジョセフソン接合の作製プロ... [more] SCE2013-57
pp.129-134
OME 2011-12-21
15:30
東京 機械振興会館 平滑化による形状記憶フィルム上への低電圧駆動有機トランジスタの作製
加藤 裕東大)・関谷 毅東大/JST)・横田知之栗原一徳東大)・Ute ZschieschangHagen Klaukマックス・プランク研)・山本達也瀧宮和男広島大)・池田征明桑原博一日本化薬)・染谷隆夫東大/JSTOME2011-70
我々は,熱で形状を記憶するフィルム上に低電圧駆動有機トランジスタを作製した.用いた形状記憶フィルムは150ºC... [more] OME2011-70
pp.23-28
SDM 2010-02-05
16:15
東京 機械振興会館 多孔質低誘電率膜CMP時の誘電率評価
小寺雅子高橋琢視南幅 学東芝SDM2009-191
近年の高速LSIデバイスでは多孔質低誘電率膜が絶縁膜として使用されるが,加工中に誘電率が変化することが問題である.本研究... [more] SDM2009-191
pp.53-58
LQE, OPE
(共催)
2009-06-19
16:20
東京 機械振興会館6階66号室 BCB埋め込み型リッジ導波路構造を有する1.3um波長帯AlGaInAs/InP DFBレーザ
八木英樹大西 裕辻 幸洋市川弘之吉永弘幸野間口俊夫平塚健二上坂勝己住友電工OPE2009-27 LQE2009-30
10Gbit/sを超える高速直接変調を目的として、BCB(ベンゾシクロブテン)埋め込み型リッジ導波路構造を有する1.3u... [more] OPE2009-27 LQE2009-30
pp.59-62
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