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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| EA, US (併催) |
2023-12-22 13:00 |
福岡 | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 | ［ポスター講演］エピタキシャルZnO犠牲層を用いたc軸傾斜エピタキシャルScAlN自立薄膜共振子 ○小林 栞・柳谷隆彦（早大）  US2023-59 |
液体中で使用する薄膜共振子型センサやSH-SAWセンサのS/N比を向上するには高い擬似すべりモードの電気機械結合係数k´... [more] | US2023-59 pp.18-23 |
| US | 2023-11-27 16:35 |
静岡 | 静岡大学 | エピScAlN圧電薄膜／エピ音響ブラッグ反射器構造のSMR ○渡海 智・柳谷隆彦（早大） US2023-55 |
単結晶圧電薄膜は、多結晶の場合に比べ耐電力性やQ値が高いという特徴を持つ。しかし、SMR (Solidly Mounte... [more] | US2023-55 pp.67-72 |
| MIKA (第三種研究会) |
2023-10-10 15:35 |
沖縄 | 沖縄県市町村自治会館 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
［ポスター講演］RFフィルタ向けエピタキシャル圧電薄膜多層構造 ○渡海 智・柳谷隆彦（早大） |
スマートフォンに代表される無線通信デバイスには、複数の無線周波数から所望の周波数のみを選択し送受信するための周波数フィル... [more] | |
| EST, MW, EMT, OPE, MWPTHz (共催) IEE-EMT (連催) [詳細] |
2023-07-20 15:15 |
北海道 | 室蘭工業大学 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
Brillouin光散乱法によるScAlN薄膜の弾性定数テンソルの測定 ○内田拓希（早大）・市橋隼人（同志社大）・鈴木雅視（山梨大）・高柳真司・松川真美（同志社大）・柳谷隆彦（早大） EMT2023-20 MW2023-38 OPE2023-20 EST2023-20 MWPTHz2023-16 |
Brillouin光散乱法は、膜厚情報に無依存にTime-of-flight を使わずにGHz帯の超音波速度を測定できる... [more] | EMT2023-20 MW2023-38 OPE2023-20 EST2023-20 MWPTHz2023-16 pp.61-66 |
| EST, MW, EMT, OPE, MWPTHz (共催) IEE-EMT (連催) [詳細] |
2023-07-21 13:25 |
北海道 | 室蘭工業大学 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
Mason等価回路シミュレーションを用いた圧電薄膜の電気機械結合係数の新規評価法の開発 ○島野耀康（早大）・矢田部浩平（東京農工大）・柳谷隆彦（早大） EMT2023-56 MW2023-74 OPE2023-56 EST2023-56 MWPTHz2023-52 |
電気機械結合係数はRFフィルタの帯域や挿入損失を決定づける重要な評価指標である。実際のBAWデバイスではMoやRuなどの... [more] | EMT2023-56 MW2023-74 OPE2023-56 EST2023-56 MWPTHz2023-52 pp.241-242 |
| EA, US (併催) |
2022-12-22 16:50 |
広島 | サテライトキャンパスひろしま | ［ポスター講演］基板付き薄膜共振子を用いたScAlN、ZnO、PZT圧電薄膜層のQ値抽出 ○清水祐樹（早大）・柳谷隆彦（早大/JST） US2022-61 |
スマートフォン向けのRFフィルタでは無線バンドが密集しており、高い急峻性(Q値)が要求される。周波数フィルタの1つである... [more] | US2022-61 pp.56-61 |
| EA, US (併催) |
2022-12-22 16:50 |
広島 | サテライトキャンパスひろしま | ［ポスター講演］基板付き圧電薄膜のkt2評価における電極面積の影響 ○関 崚・清水祐樹・近藤圭太・柳谷隆彦（早大） US2022-63 |
電気機械結合係数kt2はBAWデバイスの性能を評価する重要なパラメータの一つである。kt2評価にはIEEE standa... [more] | US2022-63 pp.68-73 |
| US | 2022-11-29 14:35 |
富山 | 大学コンソーシアム富山 | 100MHz帯の強力超音波による水中の屈折率変化が入射光に与える影響 ○原田裕生（同志社大）・石河睦生（桐蔭横浜大）・稲本脩人・松川真美・小山大介（同志社大） US2022-46 |
高周波超音波トランスデューサは，非破壊検査や生体組織イメージングなど様々な分野で活躍している．しかしこれまでに，液体中に... [more] | US2022-46 pp.17-20 |
| SDM | 2022-10-19 14:05 |
ONLINE | オンライン開催に変更 | 強誘電体BiFeO3薄膜表面の評価と分析 ○今泉文伸（小山高専） SDM2022-58 |
強誘電体や圧電材料を用いたデバイス，センサは現在様々な分野で使用されているが，主材料として使われているPb(Zr,Ti)... [more] | SDM2022-58 pp.16-19 |
| US | 2021-01-29 14:15 |
ONLINE | オンライン開催 | 励起フォノンを用いた簡易Brillouin散乱計測の試み ○西川修平・稲本脩人・上野翔矢・松川真美（同志社大） US2020-59 |
物質中の熱フォノンによるBrillouin散乱光を観測することで、局所領域におけるGHz域の縦波・横波音速を非破壊・非接... [more] | US2020-59 pp.9-14 |
| US | 2020-11-05 13:00 |
愛知 | 愛知工業大学 八草キャンパス | 低圧スパッタ成膜で増大する負イオン照射がScAlN薄膜の結晶性と圧電性に及ぼす影響 ○冨永卓海・髙柳真司（同志社大）・柳谷隆彦（早大） US2020-43 |
ScAlN薄膜は，AlN 薄膜よりも非常に大きな圧電性を有すことから，弾性波デバイスへの応用が期待されている．ScAlN... [more] | US2020-43 pp.1-6 |
| SDM | 2020-10-22 15:20 |
ONLINE | オンライン開催 | 強誘電体薄膜BiFeO3の格子整合とX線構造分析 ○今泉文伸・仲田陸人（小山高専） SDM2020-20 |
強誘電体や圧電材料を用いたデバイス、センサは現在様々な分野で使用されているが、主材料として使われているPb(Zr,Ti)... [more] | SDM2020-20 pp.30-33 |
| US | 2020-09-28 14:25 |
ONLINE | オンライン開催 | レクテナ昇圧素子に向けた傾斜反転ScAlN圧電薄膜トランス ○木下紗里那（早大/材研）・柳谷隆彦（早大/材研/JST CREST） US2020-35 |
無数の小型センサを散りばめるIoT社会には半永久的にワイヤレスで電源の供給をする技術が求められる。電波のエネルギーハーベ... [more] | US2020-35 pp.45-50 |
| US | 2020-09-28 14:50 |
ONLINE | オンライン開催 | ScAlスパッタターゲットから生じる負イオンがScAlN圧電薄膜の結晶配向性や電気機械結合係数に及ぼす影響 ○木原流唯（早大）・高柳真司（同志社大）・柳谷隆彦（早大） US2020-36 |
広帯域なBAWフィルタへの応用を目指して、大きな電気機械結合係数をもつScAlN圧電薄膜が注目されている。Scは酸化しや... [more] | US2020-36 pp.51-56 |
| US | 2018-10-04 11:15 |
宮城 | 東北大学 | 基板付き薄膜共振子からの新規kt2評価法と従来法の比較 ～ 共振周波数比法、変換損失法、共振スペクトル法、共振反共振法 ～ ○戸塚 誠・柳谷隆彦（早大） US2018-52 |
圧電薄膜を用いたBAW共振子の最終的な性能を決定付けるパラメータとして電気機械結合係数がある．電気機械結合係数(kt2)... [more] | US2018-52 pp.19-24 |
| US | 2018-05-21 15:45 |
東京 | 機械振興会館 | 周波数スイッチナブルフィルタを目指した常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピ膜音響共振子 ○清水貴博・柳谷隆彦（早大） US2018-16 |
近年，移動体通信機器の周波数バンド数の増加に伴って，フィルタ搭載数が増加している．その解決策の1つとして，1つのフィルタ... [more] | US2018-16 pp.29-34 |
| US | 2017-07-27 16:40 |
岡山 | 岡山大学 | コヒーレントフォノン励起を用いたBrillouin散乱法による縦波・横波音速測定の高速化 ○川部昌彦（同志社大）・柳谷隆彦（早大）・柴垣慶明（同志社大）・高柳真司（名工大）・鈴木雅視（早大）・松川真美（同志社大） US2017-44 |
Brillouin散乱法は薄膜や透明材料などの音速を非破壊・非接触で測定できる技術であり，数100MHz～GHz域の縦波... [more] | US2017-44 pp.71-74 |
| US | 2015-10-09 15:50 |
石川 | 金沢工業大学 | ScAlN圧電薄膜から励起されたコヒーレントフォノンのBrillouin散乱 ○趙 恩慧・川部昌彦・高柳真司（同志社大）・鈴木雅視・柳谷隆彦（早大）・松川真美（同志社大） US2015-63 |
Brillouin散乱とは，入射したフォトンと物質内の熱的な格子振動であるフォノンとの非弾性衝突により，入射光の周波数が... [more] | US2015-63 pp.27-30 |
| MWP, EMT, PN, LQE, OPE, EST (共催) IEE-EMT (連催) [詳細] |
2014-01-23 15:45 |
京都 | 同志社大学（烏丸キャンパス） | GHz域のコヒーレントフォノン励起による高速Brillouin光散乱測定 ○川部昌彦・市橋隼人・松川真美（同志社大） PN2013-46 OPE2013-160 LQE2013-146 EST2013-95 MWP2013-66 |
Brillouin光散乱法は薄膜などの音速を非破壊・非接触で測定できる技術であり、GHz域の縦波および横波を局所的に観測... [more] | PN2013-46 OPE2013-160 LQE2013-146 EST2013-95 MWP2013-66 pp.65-68 |
| ED | 2013-04-18 16:20 |
宮城 | 東北大学電通研 片平北キャンパス ナノ・スピン総合研究棟4階 カンファレンスルーム | 有機PVDFフィルムを用いた圧電式水素ガスセンサの開発 ○今井裕司（仙台高専）・飯野祥平・中山貴裕・但木大介・木村康男・庭野道夫（東北大） ED2013-9 |
我々は，有機圧電ポリマーであるポリフッ化ビニリデン（PVDF）薄膜にパラジウム（Pd）薄膜を堆積させた新規な自立型圧電式... [more] | ED2013-9 pp.31-35 |
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