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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| CPM | 2010-10-29 11:50 |
長野 | 信州大学 工学部 地域共同研究センター３階研修室 | スパッタ法を用いた有機EL素子用低温堆積ITO薄膜の検討 ○中村陽平・劉 暢・清水英彦・岩野春男・福嶋康夫・永田向太郎（新潟大）・星 陽一（東京工芸大）  CPM2010-105 |
本研究では，低温成膜したITO薄膜のデバイス応用への有効性を検討するため，アンバランスドマグネトロンスパッタ法に基板バイ... [more] | CPM2010-105 pp.71-75 |
| CPM | 2008-10-31 09:50 |
新潟 | 新潟大学 | Arイオン衝撃によるITO薄膜への効果の検討 ○高橋沙季・二木雅斗・中村陽平・清水英彦・岩野春男・福嶋康夫・永田向太郎（新潟大）・星 陽一（東京工芸大） CPM2008-84 |
本研究では，RF-DC結合形スパッタ法に，基板バイアススパッタ法を組み合わせる方法を用いて，低温でITO膜を結晶化させる... [more] | CPM2008-84 pp.53-58 |
| CPM | 2007-08-09 16:10 |
山形 | 山形大学 | 基板バイアススパッタ法によるITO薄膜の検討（II） ○梅津 岳・中田悠介・清水英彦・丸山武男・岩野春男（新潟大）・星 陽一（東京工芸大） CPM2007-42 |
本研究では，高エネルギー粒子を抑制できるRF-DC結合形スパッタ法に，基板バイアススパッタ法を組み合わせる方法を用いて，... [more] | CPM2007-42 pp.33-38 |
| CPM | 2005-11-12 13:00 |
福井 | 福井大学 | 有機EL素子用ITO薄膜の作製と検討 ○槻尾浩一・竹内正樹・森下和哉・清水英彦・丸山武男・川上貴浩（新潟大）・星 陽一（東京工芸大） |
透明有機EL素子用のITO薄膜の低温作製を検討するために，RF-DC結合型スパッタ法を用いてITO薄膜を作製した。その結... [more] | CPM2005-170 pp.43-48 |
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