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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
CPM 2024-02-29
13:45
山形 山形大学工学部
(ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催)
SiおよびN添加ダイヤモンドライクカーボン膜へのO添加の効果
山崎雄也鈴木裕史小林康之中澤日出樹弘前大CPM2023-105
高周波プラズマ化学気相成長法によりシリコン、窒素および酸素を共添加したダイヤモンドライクカーボン(Si-N-O-DLC)... [more] CPM2023-105
pp.38-41
MRIS, CPM, OME
(共催)
ITE-MMS
(連催) [詳細]
2023-10-27
10:30
新潟 新潟大学(駅南キャンパスときめいと)
(ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催)
SiおよびN添加ダイヤモンドライクカーボン膜の機械的特性および耐熱性
山崎雄也佐々木祐弥中澤日出樹弘前大MRIS2023-17 CPM2023-51 OME2023-38
希釈ガスにH2およびArを用いたプラズマ化学気相成長法によりシリコンおよび窒素を共添加したダイヤモンドライクカーボン(S... [more] MRIS2023-17 CPM2023-51 OME2023-38
pp.33-36
CPM 2021-10-27
13:20
ONLINE オンライン開催 プラズマ化学気相成長法によるSi及びN添加ダイヤモンドライクカーボン膜の光学的特性および電気的特性に及ぼすH₂及びAr希釈の効果
佐々木祐弥長内公哉大谷優介室野優太佐藤聖能小林康之遠田義晴鈴木裕史中澤日出樹弘前大CPM2021-26
希釈ガスにAr及びH₂を用いたプラズマ化学気相成長法によりケイ素(Si)及び窒素(N)を添加したダイヤモンドライクカーボ... [more] CPM2021-26
pp.23-28
CPM 2019-11-07
15:00
福井 福井大学 文京キャンパス 窒素を添加したDLC膜特性へのアニール効果
長内公哉中村和樹郡山春人小林康之遠田義晴鈴木裕史弘前大)・末光眞希東北大)・中澤日出樹弘前大CPM2019-46
希釈ガスにH2を用いたプラズマ化学気相成長法により窒素を添加したダイヤモンドライクカーボン(N-DLC)膜を作製し、真空... [more] CPM2019-46
pp.9-14
CPM, IEE-MAG
(連催)
2018-11-02
14:25
新潟 まちなかキャンパス長岡 ケイ素及び窒素を添加したDLC薄膜の熱的安定性
中澤日出樹中村和樹長内公哉郡山春人小林康之遠田義晴鈴木裕史弘前大)・末光眞希東北大CPM2018-52
希釈ガスにH_(2)を用いたプラズマ化学気相成長法により作製したケイ素及び窒素を添加したダイヤモンドライクカーボン(Si... [more] CPM2018-52
pp.99-104
CPM 2018-08-09
14:30
青森 弘前大学文京町地区キャンパス Si添加DLC薄膜への窒素添加の効果
中村和樹大橋 遼弘前大)・横山 大田島圭一郎遠藤則史末光眞希東北大)・遠田義晴小林康之鈴木裕史・○中澤日出樹弘前大CPM2018-8
希釈ガスにH_2を用いたプラズマ化学気相成長法により作製したSi添加DLC(Si-DLC)薄膜の化学結合状態、電気的・光... [more] CPM2018-8
pp.1-6
CPM 2015-08-10
13:40
青森 弘前大学 文京町地区キャンパス 総合教育棟 高周波プラズマ化学気相成長法による窒素添加DLC薄膜の膜特性への基板バイアスの影響
土屋政人村上和輝佐藤達人高見貴弘遠田義晴中澤日出樹弘前大CPM2015-32
CH4、N2および希釈ガスとしてArを用い、基板バイアスにパルスバイアスを用いたRFプラズマCVD法により、基板パルスバ... [more] CPM2015-32
pp.7-10
CPM 2011-08-10
15:45
青森 弘前大学 文京町キャンパス プラズマCVD法によるSiおよびN同時添加DLC膜特性に対する水素の影響
奥野さおり三浦創史鎌田亮輔中澤日出樹弘前大CPM2011-62
ダイヤモンドライクカーボン(DLC)の膜特性の改善のために、SiおよびN源にヘキサメチルジシラザン(HMDS)を用いたプ... [more] CPM2011-62
pp.31-36
CPM 2009-08-10
16:05
青森 弘前大学 有機シランを用いたプラズマCVD法によるダイヤモンドライクカーボン薄膜の膜特性評価
三浦創史中澤日出樹西崎圭太弘前大)・末光眞希東北大)・安井寛治長岡技科大)・伊藤 隆遠藤哲郎東北大)・成田 克山形大CPM2009-36
ダイヤモンドライクカーボン(DLC)の膜特性改善のために、Si源にモノメチルシラン(MMS)を用いた高周波プラズマ化学気... [more] CPM2009-36
pp.13-18
CPM 2009-08-10
16:30
青森 弘前大学 原子状水素照射によるダイヤモンドライクカーボン膜の化学結合状態の変化
遲澤遼一中澤日出樹奥崎知秀佐藤直之遠田義晴弘前大)・末光眞希東北大CPM2009-37
KrFエキシマレーザーを用いたレーザーアブレーション法によりSi基板上にダイヤモンドライクカーボン(diamond-li... [more] CPM2009-37
pp.19-24
SDM 2008-10-09
15:45
宮城 東北大学 計算化学手法によるダイヤモンドライクカーボン(DLC)の摩擦特性・微細構造の検討
栗秋貴謹森田祐輔小野寺 拓鈴木 愛Riadh Sahnoun古山通久坪井秀行畠山 望遠藤 明高羽洋充Carlos A. Del Carpio久保百司宮本 明東北大SDM2008-153
ダイヤモンドライクカーボン(DLC)はその低摩擦特性, 耐摩耗特性からトライボロジー材料として工業的に有用である. しか... [more] SDM2008-153
pp.19-20
SDM 2007-10-04
14:15
宮城 東北大学 新規計算化学手法を用いたDLCの摩擦特性解析
森田祐輔敖敦其木格鈴木 愛Riadh Sahnoun古山通久坪井秀行畠山 望遠藤 明高羽洋充久保百司Carlos A. Del Carpio宮本 明東北大SDM2007-173
ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜等の硬質炭素系薄膜は優れた低摩擦性や耐摩耗性を有することから、トライボロジー材料等... [more] SDM2007-173
pp.7-8
SDM 2007-10-05
10:20
宮城 東北大学 量子分子動力学法によるダイヤモンドライクカーボン膜生成過程の検討
敖敦其木格森田祐輔鈴木 愛Riadh Sahnoun古山通久坪井秀行畠山 望遠藤 明高羽洋充久保百司Carlos A. Del Carpio宮本 明東北大SDM2007-182
ダイヤモンドライクカーボン(DLC)は、優れた低摩擦係数、耐摩耗性を有することから摺動部品、切削工具用途への展開が期待さ... [more] SDM2007-182
pp.29-30
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