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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| CPM | 2011-10-26 13:50 |
福井 | 福井大学 産学官連携本部研修室 | RF-DC結合形スパッタ法による室温成膜AZO薄膜の特性 ○樫出 淳・名越克仁・富口祐輔・清水英彦・岩野春男・川上貴浩・永田向太郎・福嶋康夫・坪井 望・野本隆宏（新潟大）  CPM2011-111 |
本研究では，低電圧でのスパッタが可能なRF-DC結合形スパッタ法（低電圧スパッタ法）に注目し，この方法により室温にてAZ... [more] | CPM2011-111 pp.11-15 |
| EMD, CPM, OME (共催) |
2011-06-30 16:55 |
東京 | 機械振興会館 | 低電圧スパッタ法を用いた室温成膜AZO薄膜の特性 ○樫出 淳・名越克仁・清水英彦・岩野春男・川上貴浩・永田向太郎・福嶋康夫・坪井 望・野本隆宏（新潟大） EMD2011-18 CPM2011-54 OME2011-32 |
本研究では，低電圧でのスパッタが可能なRF-DC結合形スパッタ法と，ターゲットの焼結温度に注目し，高エネルギー粒子が膜に... [more] | EMD2011-18 CPM2011-54 OME2011-32 pp.59-63 |
| ITE-MMS, ITE-CE (共催) MRIS (連催) [詳細] |
2011-01-20 13:30 |
大阪 | パナソニック企業年金基金 松心会館 | Pt/Co/α-Cr2O3(0001)薄膜における高い垂直交換バイアスとその特異な温度依存性 ○及川博人・納富隼人・藤田敏章・白土 優・中谷亮一（阪大） MR2010-53 |
反応性DCマグネトロンスパッタリング法によって作製されたPt/Co/α-Cr2O3(0001) 薄膜における垂直交換バイ... [more] | MR2010-53 pp.7-11 |
| US | 2009-09-30 11:45 |
北海道 | 祝いの宿 登別グランドホテル 会議室 | LFB超音波材料解析システムによる石英ガラス上のZnO多結晶薄膜の評価 ○近藤貴則・吉田 翔・高麗友輔・大橋雄二・荒川元孝・櫛引淳一（東北大）・藤井 知（セイコーエプソン） US2009-53 |
DCスパッタリング法およびRFマグネトロンスパッタリング法により合成石英ガラス基板上に作製した複数の異なる膜厚のZnO多... [more] | US2009-53 pp.89-94 |
| CPM | 2008-10-31 09:50 |
新潟 | 新潟大学 | Arイオン衝撃によるITO薄膜への効果の検討 ○高橋沙季・二木雅斗・中村陽平・清水英彦・岩野春男・福嶋康夫・永田向太郎（新潟大）・星 陽一（東京工芸大） CPM2008-84 |
本研究では，RF-DC結合形スパッタ法に，基板バイアススパッタ法を組み合わせる方法を用いて，低温でITO膜を結晶化させる... [more] | CPM2008-84 pp.53-58 |
| CPM | 2007-08-09 16:10 |
山形 | 山形大学 | 基板バイアススパッタ法によるITO薄膜の検討（II） ○梅津 岳・中田悠介・清水英彦・丸山武男・岩野春男（新潟大）・星 陽一（東京工芸大） CPM2007-42 |
本研究では，高エネルギー粒子を抑制できるRF-DC結合形スパッタ法に，基板バイアススパッタ法を組み合わせる方法を用いて，... [more] | CPM2007-42 pp.33-38 |
| CPM | 2005-11-12 12:35 |
福井 | 福井大学 | 低電圧スパッタ法によるYBCO薄膜の作製及び評価 ○岡田好正・清水英彦・森 貴志・岩野春男・川上貴浩（新潟大）・星 陽一（東京工芸大）・丸山武男（新潟大） |
本研究では，プラズマスパッタ法を用いて容易にYBCO薄膜の作製を実現できるようにするための基礎研究として，RF-DC結合... [more] | CPM2005-169 pp.39-42 |
| CPM | 2005-11-12 13:00 |
福井 | 福井大学 | 有機EL素子用ITO薄膜の作製と検討 ○槻尾浩一・竹内正樹・森下和哉・清水英彦・丸山武男・川上貴浩（新潟大）・星 陽一（東京工芸大） |
透明有機EL素子用のITO薄膜の低温作製を検討するために，RF-DC結合型スパッタ法を用いてITO薄膜を作製した。その結... [more] | CPM2005-170 pp.43-48 |
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