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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
CPM 2012-10-27
09:10
新潟 まちなかキャンパス長岡 コールドスプレー法により作製したCu/Alターゲットを用いた反応性スパッタリング法によるCuAlO2薄膜の作製
横本拓也荒井 崇小坂孝之岡島和希山上朋彦阿部克也榊 和彦信州大CPM2012-104
コールドスプレー法により作製したCu/Alターゲットを用いた
反応性スパッタリング法によりCuAlO$_{2}$薄膜の... [more]
CPM2012-104
pp.61-64
CPM 2011-10-26
13:00
福井 福井大学 産学官連携本部研修室 複合ターゲットを用いた反応性スパッタリング法によるCuAlO2薄膜の作製と構造評価
横本拓也前田洋輔宮澤 匠山上朋彦阿部克也信州大CPM2011-109
複合ターゲットを用いた反応性スパッタリング法を用いてCuAlO2薄膜の作製と構造評価を行った。
本研究での複合ターゲッ... [more]
CPM2011-109
pp.1-4
 2件中 1~2件目  /   
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