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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
CPM 2024-02-29
10:45
山形 山形大学工学部
(ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催)
マイクロウェーブを用いたプラズマ支援型低温ALDによる窒化アルミニウムの試作と評価
髙橋知也三浦正範有馬ボシールアハンマド廣瀬文彦山形大CPM2023-99
窒化アルミニウムは広いバンドギャップと水・酸素への安定性からデバイスのパッシベーション膜等への応用が期待されている。本実... [more] CPM2023-99
pp.11-14
ED 2023-12-08
09:50
愛知 ウインクあいち(愛知県産業労働センター) 酸化環境に対する平面型グラフェン電子源の保護手法と電子放出特性に及ぼす影響
六川 蓮鷹尾祥典横浜国大)・長尾昌善村田博雅村上勝久産総研ED2023-48
平面型グラフェン電子源は,電圧印加のみで高効率な電子放出が可能であることから地球低軌道で使用される小型イオンスラスタの中... [more] ED2023-48
pp.39-42
CPM 2023-08-01
09:45
北海道 北見工業大学
(ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催)
3°オフ角Si(110)基板上へのSiC/AlN多層構造の作製およびグラフェンの形成
齋藤遼佑奈良友奎葛西大希郡山春人遠田義晴中澤日出樹弘前大CPM2023-19
3 ̊オフ角Si(110)基板上にパルスレーザーアブレーション(PLD)法によりAlN薄膜を作製し、AlN上にモノメチル... [more] CPM2023-19
pp.29-32
SDM, ED, CPM
(共催)
2022-05-27
14:40
ONLINE オンライン開催 反応性スパッタリングによる窒化物誘電体薄膜の堆積とシリコンフォトニクス応用
福島孝晃ホセ ピエドラ ロレンサナ土谷 塁飛沢 健石川靖彦豊橋技科大ED2022-10 CPM2022-4 SDM2022-17
SiNxはSiに比べて熱光学係数が約1桁小さい特長があり、熱的に安定動作する合分波器など、シリコンフォトニクス素子の特性... [more] ED2022-10 CPM2022-4 SDM2022-17
pp.13-16
MW 2022-03-03
11:25
ONLINE オンライン開催 放熱機能を有するアンテナを用いる5.8GHz帯5Wレクテナ
小松郁弥桔川洸一麦谷彰彦坂井尚貴伊東健治金沢工大MW2021-117
本報告では,放熱機能を有するアンテナを用いる5.8GHz帯5Wレクテナについて報告する.先端短絡スタブ装荷高インピーダン... [more] MW2021-117
pp.36-41
CPM 2019-08-26
15:50
北海道 北見工業大学 1号館2F A-207講義室 オフ角Si(110)基板上AlN層の形成とその上へのSiCヘテロエピタキシャル成長
中澤日出樹奈良友奎葛西大希弘前大CPM2019-42
これまで、AlN/Si基板上にSiC低温バッファ層を形成しその上にSiC薄膜を成長させた後、高温加熱を施すことでグラフェ... [more] CPM2019-42
pp.23-28
CPM 2018-08-09
14:50
青森 弘前大学文京町地区キャンパス SiC/AlN/Si(110)基板上グラフェンの成長
中澤日出樹成田舜基奈良友奎遠田義晴弘前大CPM2018-9
3ºオフ角を有するSi(110)基板上に、レーザーアブレーション法を用いて様々な成長条件でAlN薄膜を作製した結果、レー... [more] CPM2018-9
pp.7-12
CPM 2018-08-09
15:10
青森 弘前大学文京町地区キャンパス SiC/SiCバッファ層/AlN/Si(110)多層構造におけるSiCバッファ層形成条件の検討
奈良友奎工藤あさひ中澤日出樹弘前大CPM2018-10
AlNターゲットを用いたレーザーアブレーション法により3ºオフ角Si(110)基板上にAlN層を成長させ、AlN層上にモ... [more] CPM2018-10
pp.13-16
R, EMD, CPM, LQE, OPE
(共催)
2017-08-31
13:55
青森 弘前文化センター レーザーアブレーション法によるSiCバッファ層を用いたAlN/Si(110)基板上へのSiCエピタキシャル成長
奈良友奎成田舜基中澤日出樹弘前大R2017-25 EMD2017-19 CPM2017-40 OPE2017-49 LQE2017-22
AlNターゲットを用いたレーザーアブレーション法により3°オフ角Si(110)基板上にAlN層を成長させ、AlN層上にモ... [more] R2017-25 EMD2017-19 CPM2017-40 OPE2017-49 LQE2017-22
pp.7-10
CPM 2015-08-10
13:20
青森 弘前大学 文京町地区キャンパス 総合教育棟 レーザーアブレーション法によるAlN/Si(110)基板上SiC薄膜の作製と評価
目黒一煕成田舜基・○中澤日出樹弘前大CPM2015-31
AlN/Si(110)基板上にSiC低温バッファ層を形成後、その層上にレーザーアブレーション法により基板温度およびレーザ... [more] CPM2015-31
pp.1-5
CPM 2015-08-10
14:00
青森 弘前大学 文京町地区キャンパス 総合教育棟 レーザーアブレーション法によるAlN/Si(110)基板上へのSiC成長
成田舜基目黒一煕中澤日出樹弘前大CPM2015-33
AlNターゲットを用いたレーザーアブレーション法によりSi(110)基板上にAlN層を形成し、結晶性および表面モフォロジ... [more] CPM2015-33
pp.11-14
CPM 2014-09-04
13:55
山形 山形大学工学部百年周年記念会館 セミナールーム1,2,3 オフ角Si(001)基板上に形成したAlN層上へのSiCヘテロエピタキシャル成長
目黒一熙成田次理上村駿洋中澤日出樹弘前大CPM2014-76
4ºオフ角Si(100)基板およびSi(110)基板上に、窒化アルミニウム(AlN)ターゲットを用いたレーザーアブレーシ... [more] CPM2014-76
pp.7-12
CPM, LQE, ED
(共催)
2013-11-28
16:40
大阪 大阪大学 吹田キャンパス A novel method for crystallizations of aluminum nitride
PeiTsen WuMitsuru FunatoYoichi KawakamiKyoto Univ.ED2013-75 CPM2013-134 LQE2013-110
In this work, a new method of AlN crystal growth is proposed... [more] ED2013-75 CPM2013-134 LQE2013-110
pp.51-55
LQE, ED, CPM
(共催)
2011-11-18
09:30
京都 京都大学桂キャンパス 桂ホール 窒化アルミニウムの電子状態に対する歪みの効果
石井良太金田昭男ライアン バナル船戸 充川上養一京大ED2011-88 CPM2011-137 LQE2011-111
sp3 価電子軌道を構成しているウルツ鉱構造の半導体の価電子帯頂上は,結晶場相互作用によって既約
表現がΓ1 とΓ5 ... [more]
ED2011-88 CPM2011-137 LQE2011-111
pp.77-80
CPM 2011-08-10
13:00
青森 弘前大学 文京町キャンパス レーザーアブレーション法によるAlN成長のSi基板面方位依存性
鈴木大樹熊谷知貴中澤日出樹弘前大CPM2011-56
KrFエキシマーレーザーおよび窒化アルミニウム(AlN)ターゲットを用いたレーザーアブレーション法によりSi(100)基... [more] CPM2011-56
pp.1-6
CPM 2010-07-30
10:20
北海道 道の駅しゃり 会議室 レーザーアブレーション法によるSi基板上AlN薄膜の形成
中澤日出樹鈴木大樹遲澤遼一岡本 浩弘前大CPM2010-38
KrFエキシマレーザーおよび窒化アルミニウム(AlN)ターゲットを用いたレーザーアブレーション法によりSi基板上にAlN... [more] CPM2010-38
pp.39-44
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